Thermionics RCR Series 3 kW Multiple Crucible Rotary e-Gun™ RCR系列镀膜电子枪

RCR 系列 3 千瓦多坩埚旋转电子枪™

全新的 Thermionics 研究级系列 3 千瓦多坩埚旋转电子枪™，具备增强的电子束稳定性和高效的 XY 扫描功能，可实现坩埚全覆盖，且配备自动定位器（需单独购买）以实现自动定位。

特点
■ 真正的 XY 扫描，实现坩埚全覆盖
■ 源内置扫描线圈
■ 增强的电子束准直性
■ 可插拔发射极模块
■ 增强的高稳定性冷却系统
■ 交叉污染屏蔽
■ 坚固耐用的设计
■ 可选配自动定位器

多坩埚电子枪的工作原理与单坩埚源相同，但具有以下优势：
■ 蒸发材料供应充足 —— 当每个坩埚都装入相同的源材料时，在单次真空循环中可蒸发更多量的材料。
■ 单次真空循环可沉积多达 8 种不同材料 —— 每个坩埚可放入不同材料，并在单次真空循环中按任意顺序进行沉积。沉积速率与单坩埚型号相同。每次仅加热一个坩埚。单灯丝保持固定，坩埚头通过驱动手柄转位至工作位置。因此，蒸发始终从真空室中完全相同的位置开始。非工作状态的坩埚通过磁极片与加热的坩埚隔离开来，从而消除坩埚之间的污染。

高真空兼容性

采用金属和弹性体密封，测得的极限压力：2×10⁻⁹托。

可互换坩埚

主坩埚轮可从源的顶部取下，无需完全拆卸源体。这种灵活性便于现场升级。

特殊说明

所有多坩埚电子枪均可安装在更大直径的 ConFlat 法兰或矩形 PyraFlat 法兰上，可单装或背靠背安装。