Thermionics ICR Series 15 kW e-Gun™ ICR系列镀膜电子枪
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ICR 系列 15kW
电子枪™
赛默电子公司的 ICR 电子枪™有两种配置可供选择:一种是如图所示的转盘式配置,容量可达 1500 立方厘米;另一种是多坩埚电子枪™,配备多达 10 个 75 立方厘米的坩埚。
特点
■ 真正的 XY 扫描,实现坩埚全面覆盖
■ 专利的防电子束卷曲屏蔽,延长有效运行时间
■ 坚固的驱动机构,防止卡塞
■ 可插拔发射极模块
■ 增强型高稳定性冷却
■ 内置交叉污染屏蔽(多坩埚版本)
■ 无需拆卸即可轻松进行磁性调节
■ 可选的延长运行时间功能:差分泵浦、气体注入和双灯丝
规格参数
■ 工作压力:低于 5×10⁻⁵托为最佳工作状态
■ 电子束电压:10,000 伏直流
■ 电子束电流:0-1500 毫安连续可调
■ 最大功率:15 千瓦
■ 冷却水量:3.5 加仑 / 分钟
■ 压力差:最小 25 磅 / 平方英寸
■ 最高烘烤温度:130°C
■ 坩埚容量:转盘式可达 1500 立方厘米,多坩埚式可达 10×75 立方厘米