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RNN™ 系列差动泵送旋转密封
差动泵旋转密封 (RNN) 通过 UHV 系统的真空壁提供 360° 连续旋转自由度。RNN 具有两级差动泵送,由特殊密封表面上的石墨浸渍、膨胀、特氟龙®密封件隔离。预紧的滚珠轴承组可精确控制旋转平台的位置。
RNN 提供蜗杆驱动微调选项。这允许更轻松、更准确地调整角度。RNN 还提供带消隙步进或同步电机驱动的产品。
列出了内径最大为 12 英寸的 RNN。更大的 ID 具有卓越的性能。特殊应用请咨询工厂。
规格
- 标准净内径为 1.53 英寸至 12 英寸的型号,可根据要求提供更大尺寸
- 可烘烤至 150°C
- 固定法兰和旋转法兰,螺纹
- 厚度约为两个 ConFlat 型法兰的厚度
- 2 级差压泵送
- 极限压力 10-11Torr 系列
- 0–360° 刻度,带游标
RNN-400 和更大型号的典型性能规格
- 分辨率:<0.004°
- 重复精度:<0.008°
- 背隙:<0.035°
可读性规格
- 标准刻度:1.0°
- 机械计数器:0.1°
- 需要微步电机驱动才能获得最大分辨率
选项
- 微调蜗杆传动
- 微调数字读数,0.1° 读数,机械,不可复位
- 提供机械计数器选项
- 带手动旋钮的消隙步进电机驱动每整步 0.018°(RNN-150/MS 为 0.0225°/全步)
- 可在 /FA 装置上提供定制的泵出管长度和曲轴长度
负载
下面列出了标准的最大负载。在特定应用下可以处理较大的负载。请咨询工厂以获取定制应用程序。
- 有效载荷的重心位于装置极轴的“X”范围内,其中 X 等于 RNN 内径的 10%。
- 有效载荷的重心位于水平安装装置上旋转法兰的“Y”距离内,其中 Y 是法兰内径。
- 真空外部有效载荷的总体最大尺寸“A”为:
垂直操作:7 x 法兰外径 水平操作:5 x 法兰外径 倒置操作:7 x 法兰外径
型号 | 垂直 | 水平 | 倒 |
RNN-150 型 | 54 磅 | 30 磅 | 45 磅 |
RNN-250 系列 | 90 磅 | 38 磅 | 70 磅 |
RNN-400 系列 | 144 磅 | 66 磅 | 110 磅 |
RNN-600 系列 | 180 磅 | 84 磅 | 140 磅 |
RNN-800型 | 200 磅 | 91 磅 | 160 磅 |
RNN-1000 系列 | 370 磅 | 160 磅 | 280 磅 |
RNN-1200型 | 430 磅 | 200 磅 | 350 磅 |
负载位置
表 1.RNN 系列差动泵旋转密封件
(包括可拆卸的调节扳手)
身份证 | 法兰 外径 |
一个 | B | C | D | E | F | G | H | 型号 |
1.53 | 2.75 | 4.50 | 2.99 | 1.0 | 3.18 | 2.75 | .49 | .13 | 60° | RNN-150 型 |
1.53 | 2.75/61 | 6.00 | 2.99 | 1.34 | 3.33 | 2.75 | .15 | .13 | 45° | RNN-150/6型 |
2.53 | 4.5 | 5.75 | 3.64 | 1.36 | 3.58 | 4.50 | .49 | .03 | 45° | RNN-250 系列 |
2.53 | 4.5/61 | 6.00 | 3.64 | 1.52 | 3.71 | 4.50 | .33 | .03 | 45° | RNN-250/6 型 |
4.03 | 6 | 7.75 | 4.57 | 1.68 | 4.34 | 6.02 | .37 | .06 | 45° | RNN-400 系列 |
6.03 | 8 | 10.25 | 6.16 | 1.74 | 5.70 | 8.00 | .42 | .13 | 54° | RNN-600 系列 |
8.00 | 10 | 12.05 | 7.03 | 1.94 | 6.70 | 10.00 | .42 | .13 | 45° | RNN-800型 |
10.00 | 13.25 | 15.75 | 8.81 | 2.37 | 8.50 | 13.28 | .29 | .13 | 24° | RNN-1000 系列 |
12.00 | 14 | 20.00 | – | 3.34 | – | – | – | – | – | RNN-1200型 |
尺寸(英寸)
1分别表示安装法兰尺寸
表 2.RNN/FA 差动泵送旋转密封,带微调 1
身份证 | 法兰 外径 |
一个 | B | C | D | E | F | G | H | 我 | 驱动 比 |
型号 |
1.53 | 2.75 | 5.13 | 3.38 | 1.00 | 4.95 | 2.75 | .49 | 0.37 | 60° | 3 | 80:1 | RNN-150/FA 系列 |
1.53 | 2.75/62 | 6.00 | 3.84 | 1.34 | 5.32 | 2.75 | .15 | 0.37 | 45° | 3 | 100:1 | 编号 RNN-150/6/FA |
2.53 | 4.5 | 6.38 | 4.20 | 1.36 | 6.11 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45° | 3 | 100:1 | RNN-250/FA 系列 |
2.53 | 4.5/62 | 6.38 | 4.20 | 1.52 | 6.11 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45° | 3 | 100:1 | 编号 RNN-250/6/FA |
4.03 | 6 | 8.50 | 8.25 | 1.68 | 9.28 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45° | 4 | 100:1 | RNN-400/FA 系列 |
6.03 | 8 | 10.25 | 8.50 | 1.74 | 9.93 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54° | 5 | 100:1 | RNN-600/FA 系列 |
8.00 | 10 | 12.75 | 9.56 | 1.94 | 11.50 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45° | 5 | 100:1 | RNN-800/FA 系列 |
10.00 | 13.25 | 17.00 | 11.86 | 2.37 | 17.25 | 13.28 | .29 | .91 | 24° | 7 | 100:1 | RNN-1000/FA 系列 |
12.00 | 14 | 咨询工厂 | RNN-1200/FA 系列 |
尺寸(英寸)
1微调装置采用蜗杆传动,在 RNN-400 和更大型号上具有动态反冲功能。它们带有大旋钮和曲柄手柄。
2分别表示安装法兰尺寸
表 3.RNN/MS 或 /MY 差动泵浦旋转密封件,带抗反冲/MS 步进或 /MY 同步电机驱动 1
身份证 |
法兰
外径 |
一个 |
B |
C |
D |
E |
F |
G |
H |
我 |
驾驶
率 |
型
不。 |
1.53 | 2.75 | 5.13 | 10.00 | 1.00 | 9.97 | 2.75 | .49 | 0.74 | 60° | 3.39 | 80:1 | RNN-150/MS 或 /MY |
1.53 | 2.75/62 | 5.13 | 10.00 | 1.34 | 9.97 | 2.75 | .15 | 0.74 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-150/6/MS 或 /MY |
2.53 | 4.5 | 6.38 | 10.10 | 1.36 | 8.30 | 4.50 | .49 | 0.41 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-250/MS 或 /MY |
2.53 | 4.5/62 | 6.38 | 10.10 | 1.52 | 8.30 | 4.50 | .33 | 0.41 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-250/6/MS 或 /MY |
4.03 | 6 | 8.50 | 9.77 | 1.68 | 11.69 | 6.02 | .37 | 0.54 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-400/MS 或 /MY |
6.03 | 8 | 10.20 | 10.13 | 1.74 | 11.69 | 8.00 | .42 | 1.10 | 54° | 3.39 | 100:1 | RNN-600/MS 或 /MY |
8.00 | 10 | 12.75 | 11.39 | 1.94 | 11.69 | 10.00 | .42 | 1.10 | 45° | 3.39 | 100:1 | RNN-800/MS 或 /MY |
10.00 | 13.25 | 咨询工厂 | RNN-1000/MS 或 /MY | |||||||||
12.00 | 14 | 咨询工厂 | RNN-1200/MS 或 /MY | |||||||||
18.00 | 24 | 咨询工厂 | RNN-1800/MS 系列 | |||||||||
24.00 | 34 | 咨询工厂 | RNN-2400/MS 系列 |
尺寸(英寸)
1电机驱动单元采用蜗杆驱动,并且都是动态消隙,电机后部带有手动旋钮
2分别表示安装法兰尺寸
选项
机械计数器
- 将数字读数添加到微调或电机驱动单元
- 0.1° 读数,机械,不可复位
- 可从侧面查看
- 因安装在平台上的设备阻碍了度级的视野而引起的困难的解决方案
- 选择 /MC 选项时,不包括游标刻度
阀组系统
- 允许第一级泵排空第二级泵
- 包括:两个改进的 1.33 英寸外径法兰接头;BVV-025 可烘烤阀门;柔性金属管道
- 在 RNN 平台上组装
2 l/s 附件离子泵组件
- 与阀组系统一起使用
- 允许连续泵送 RNN
- 包括 Alnico 磁铁
- 需要离子泵控制单元
离子泵控制单元
- 用于 2 l/s 附件离子泵组件
- 电源输入:115 VAC,60 Hz 或 230 VAC,50 Hz(订单时指定)
- 电源输出:5 kV DC
- 包括 HV 同轴电缆和电源线