美国Thermionics, e-Gun™,腔室和附件 ,离子泵,Combo Vac组合真空,惰性二极管泵(NP 系列),标准二极管泵(IP 系列)

美国Thermionics, e-Gun™,腔室和附件 ,离子泵,Combo Vac组合真空

Combo Vac组合真空

惰性二极管泵(NP 系列)

泵使用一个钛阴极和一个钽阴极来提高惰性气体的抽速。

Noble Diode

Noble Diode

泵使用一个钛阴极和一个钽阴极来提高惰性气体的抽速。提高的速度消除了标准二极管在长时间漏气时表现出的压力和速度不稳定,同时保持了标准二极管的长寿命和可靠性。这些是惰性气体负载最稳定的泵。

惰性二极管是用来泵送惰性气体的。除了一个实例外,它们在每个实例中都与标准二极管相同。区别在于使用一个钽阴极代替标准泵中的两个钛阴极之一。钽由于其原子序数较大,会产生更多的高能中性子,这些中性子可以埋在不易再溅射的位置。

钽作为吸气剂的效果略低于钛。因此,贵金属二极管的速度比标准二极管低约 5%。另一个值得注意的事实是,在高温下,氢在钽中的溶解度会降低。由于在长时间启动时会遇到高温,因此明智的做法是避免需要该泵处理大量氢气的应用。当然,应用也有所不同。如果您对泵的适用性有任何疑问,请致电我们。我们有各种各样的先前应用程序可供借鉴。

型号 额定

(l/sec)
法兰1
内径/外径
(英寸)
重量
(lbs)
烘烤2
加热器
数量
替换
元件
产品编号:NP-011 11 1.5/2.75 14 0 事实。repl.
NP-020
NP-020/IH
203 1.5/2.75 26 0
1
事实。repl.
NP-025
NP-025/IH 系列
253 2.0/3.375 27 0
1
事实。repl.
NP-050
NP-050/DE
60/504 4.9/8.0 82
94 元
2 PE-100N
2 个
NP-100
NP-100/DE 系列
120/1004 6.0/8.0 票价:127
142 元
4 PE-100N
2 个
NP-140
NP-140/DE
1154, 5 6.0/8.0 票价:143
154 元
0 DE-100N
1 个
NP-150
NP-150/DE
160/1504 6.0/8.0 145
160 元
0 PE-100N
6 个
NP-200
NP-200/DE
220/2004 6.0/8.0 145
160 元
4 PE-100N
8 个
NP-220
NP-220/DE 系列
2204 6.0/8.0 250
290 元
0 DE-100N
2 个
NP-400
NP-400/DE
4004 6.0/8.0 票价 276
290 元
8 PE-100N
16 个
NP-500
NP-500/DE 系列
4004 6.0/8.0 402
460 元
0 DE-100N
4 个

* 离子泵的抽速额定值

此表中的一些泵显示了两种抽速,即 150/100。当遵循美国真空协会 (AVS) 制定的测量标准时,观察到较低的数字。在最佳抽速条件下测量同一泵时,观察到的数字较高。一些制造商使用最佳抽速,仅报告这个更高的数字。此处提供了这两个评级,以便客户做出明智的选择。

1所有法兰均兼容 ConFlat,1,000 升/秒泵除外。
2加热器是 IH-100 型 Calrod 加热器,可安装在大多数泵中匹配的内部加热器井中。
3IH 表示内部加热器可作为选项使用。
4DE 指定双端选项。
5此泵没有可用的烘烤加热器。
6可根据特殊订单提供更大的泵。

标准二极管泵(IP )

标准二极管泵在每个泵送元件中使用两个钛阴极。

标准二极管泵浦

标准二极管泵在每个泵送元件中使用两个钛阴极。它们是大多数应用的首选泵,因为它们具有长寿命、可靠性和高单位速度。当需要泵送大量氢气或惰性气体或遇到频繁的高启动负载时,不建议使用这些泵。

型号 额定

(l/sec)
法兰1
内径/外径
(英寸)
重量
(lbs)
烘烤2
加热器
数量
替换
元件
专利-011 11 1.5/2.75 14 0 事实。repl.
IP-020
型 IP-020/IH
203 1.5/2.75 26 0
1
事实。repl.
IP-025
IP-025/IH 系列
253 2.0/3.375 31 0
1
事实。repl.
IP-050
IP-050/德国
80/504 4.9/8.0 94 2 PE-100
2 个
IP-100
IP-100/DE
150/1004 6.0/8.0 票价:127
142 元
4 PE-100
2 个
IP-140
型 IP-140/DE
1404, 5 6.0/8.0 票价:140
150 元
0 DE-110
1 个
IP-150
IP-150/DE
220/1504 6.0/8.0 145
160 元
0 PE-100
6 个
IP-200
型 IP-200/DE
270/2004 6.0/8.0 141
156 元
4 PE-100
8 个
IP-270
IP-270/DE
2704 6.0/8.0 250
290 元
0 DE-110
2 个
IP-400
IP-400/德国
500/4004 6.0/8.0 275
290 元
8 PE-100
16 个
IP-500
型 IP-500/DE
5004, 5 6.0/8.0 400
460 元
0 DE-110
4 个

* 离子泵的抽速额定值

此表中的一些泵显示了两种抽速,即 150/100。当遵循美国真空协会 (AVS) 制定的测量标准时,观察到较低的数字。在最佳抽速条件下测量同一泵时,观察到的数字较高。一些制造商使用最佳抽速,仅报告这个更高的数字。此处提供了这两个评级,以便客户做出明智的选择。

通知

由于目前钽材料供应短缺,贵金属二极管泵的交付如有更改,恕不另行通知。

1所有法兰均兼容 ConFlat,1,000 升/秒泵除外。
2加热器是 IH-100 型 Calrod 加热器,可安装在大多数泵中匹配的内部加热器井中。
3IH 表示内部加热器可作为选项使用。
4DE 指定双端选项。
5此泵没有可用的烘烤加热器。
6可根据特殊订单提供更大的泵。

钛热升华

钛升华泵 (TSP) 用于泵送化学反应性、可获取气体。钛有效、易升华且价格低廉。

钛升华泵

钛升华泵 (TSP) 用于泵送化学反应性、可获取气体。钛有效、易升华且价格低廉。
TSP 具有较高的抽速。在低于 10-6 Torr 的压力下,抽速取决于冷凝的可用表面积。通过用水或液氮冷却基材表面来提高抽速。钛升华泵的细丝是 85% 的钛和 15% 的钼,这种组合可以防止细丝过早“燃尽”。

订购信息:

型号

安装法兰

SB-1000 型

3.38“ 安装法兰

SB-1020 型

2.75“ 安装法兰
选项:

 

SB-1002B 系列

带 Amphenol 母头
MS 连接器和可
烘烤电缆的可烘烤适配器

SB-1001 型

12 根螺旋丝
材料:85% Ti,15% Mo
长度:卷取前 8-5/8 英寸;
4-5/8“ 卷绕
重量:3.6 克/细丝
可用钛:1.5 克/细丝
(包装包括 12 根细丝)

PS-500 升华器电源

指定是否与带有 2.75 英寸或 3.38 英寸法兰的升华器一起使用。示例:PS-500/275 或 PS-500/338。

PS-500 的规格

物理的 电气输入1 电气输出2 定时器范围 显示
机架尺寸 — 19“
机箱尺寸 —
8-3/4” x 17“ x 12”
船重 — 50 磅
交流电源线 — 15 英尺(带插头)
电压—
115 VAC
频率—
60 Hz
电压 — 12 VAC
最大电流 — 50 A
用于
4 根灯丝的选择器开关
关闭时间 —
2 至 120 分钟
导通时间 —
4 至 120 秒
模拟仪表,
电流 75 A
1230/208 VAC 和/或 50 Hz 作为特殊订单提供。请在订购时指定。
2
使用 SB-1001 螺旋丝。

用于 TSP 的液氮护罩

高速 LN2冷却的低温护罩。全溢流设计使所有表面保持在 LN 中2温度。易于拆卸以进行维护。全不锈钢结构。

型号 SS400/275

带 8 英寸外径主法兰和
2.75 英寸安装法兰

型号 SS400/338

带 8 英寸外径的主法兰和
3.38 英寸安装法兰

Triaux 泵 (TP 系列)

与二极管泵相比,泵使用反向极性和完全不同的阴极设计来实现两个重要优势:(1) 电隔离阴极允许将启动辉光放电限制在明显更高的压力下,从而缩短启动时间;(2) 溅射阴极设计允许惰性和非惰性气体溅射。Triode 对惰性气体具有最高速度,并且在发生空气泄漏时不会产生氩气不稳定。

Triode 泵

三极管

与二极管泵相比,泵使用反向极性和完全不同的阴极设计来实现两个重要优势:(1) 电隔离阴极允许将启动辉光放电限制在明显更高的压力下,从而缩短启动时间;(2) 溅射阴极设计允许惰性和非惰性气体溅射。Triode 对惰性气体具有最高速度,并且在发生空气泄漏时不会产生氩气不稳定。缺点:由于溅射阴极设计,三极管泵需要更频繁的维护。

型号 额定
泵速
(l/sec)
法兰1
内径/外径
(英寸)
重量
(lbs)
替换
元件
TP-020 20 1.5/2.75 27 事实。repl.
TP-030 30 2.84/4.50 34 事实。repl.
TP-060 602 4.26/6.0 56 TE-060 2 个
TP-110 系列 1102 6.0/8.0 164 1 个 TE-110
TP-220 系列 2202 6.0/8.0 249 1 个 TE-110
TP-400 型 4002 6.0/8.0 398 4 个 TE-110
TP-800 型 8002 10.75/12.75
钢丝密封法兰
927 TE-110 8 个
1所有法兰均兼容 ConFlat
2可根据特殊订单提供双端泵


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