美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , e-Gun™ – 单刀槽,RCF 系列 3 kW 单坩埚电子喷枪™
RCF 系列 3 kW 单坩埚电子喷枪™
蒸发源
系列:RCF
这种研究能力 RCF 系列单坩埚 e-Gun™ 提供了增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描,并完全覆盖了坩埚。随附的插入式发射器和扫频线圈组件使 e-Gun 源更易于维修。
蒸发源
系列:RCF
3 kW 单坩埚电子喷枪™
热离子研究能力RCF 系列单坩埚电子枪™提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描,并完全覆盖坩埚。随附的插入式发射器和扫频线圈组件使 e-Gun 源更易于维修。
特征
- 真正的 XY 清扫,坩埚完全覆盖
- 源附带的扫频线圈
- 增强的光束准直
- 插件发射器模块
- 增强的高稳定性冷却
- 交叉污染屏蔽
- 坚固的设计
规格:
特征 | 规格 |
经营 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择 |
光束电压 | 4,000 伏直流电 |
束流 | 0–750 mA 连续可变 |
最大功率 | 3 千瓦 |
冷却水 | 1.5 加仑/分钟 |
压差 | 最小 25 psi |
最大烘烤 温度 |
230°C (446°F) |
坩埚体积 | 2.24 毫升 |
安装配置
每个 e-Gun 都提供三种标准安装配置:
- e-Gun 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上,使用标准 OFE 铜垫圈
- e-Gun 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座,可通过 1 英寸直径的孔安装,并由压缩 O 形圈密封
- 单独使用 e-Gun,无需安装法兰
请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。
通常提供其他安装法兰、配置和几何形状,请致电工厂了解更多信息。
订购信息
型号 | 描述 |
---|---|
RCF0301 | 带扫掠线圈的单坩埚 e-Gun 源 |