美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , e-Gun™ – 单刀槽,HCF 系列 6 kW+ 单坩埚电枪™
HCF 系列 6 kW+ 单坩埚电枪™
蒸发源
系列：HCF
单坩埚全金属密封高容量 e-Gun™。提供三种标准安装配置：PyraFlat 或 CF 型法兰、1“ 直径螺栓型安装或无安装法兰。
蒸发源
系列：HCF
HCF 系列 6 kW+ 电动喷枪™
HCF 系列 e-Gun™ 是一款单坩埚全金属密封高容量 e-Gun。提供三种标准安装配置：PyraFlat 或 CF 型法兰、1“ 直径螺栓型安装或无安装法兰。
270° 光束偏转
高容量系列 e-Gun 采用成熟的 270° 电子束偏转系统。细丝隐藏在坩埚下方，不在坩埚的视线范围内。这可以防止离子腐蚀，并最大限度地防止杂散颗粒或冷凝物引起的短路。
长寿命发射极组件
270° 电子束偏转设计通过新的和改进的发射器组件得到了增强。
轻松更换灯丝
发射器组件设计使灯丝的拆卸或更换变得快速而简单。细丝对准工具可保持关键的细丝公差，从而实现快速准确的细丝更换。
永磁梁定位
主梁位置由永磁体控制。电磁铁用于精确定位和光束扫描。
兼容 UHV
金属密封，完全兼容 UHV，测量极限压力：2 x 10-11托。
规格
| 特征 | 规格 |
| 最大功率 | 10 千瓦 |
| 发射电压 | -6 至 -10 kV |
| 发射电流 | 0 至 1 A |
| 灯丝 | 700 瓦 |
| 电子束偏转 | 270° |
| 光束光斑尺寸 | .25“ 直径，紧密横梁 |
| 蒸发速率 | 1 克/分钟 @ 10 kW，36,000 Å/分钟 铝 @ 10 英寸（250 毫米）光源到基板的距离 |
| X 和 Y 扫描 | 使用 Thermionics 扫描控制器运行时，纵向和横向控制高达 200 Hz |
| 水 | 3 gpm，20°C，50 psi 压差 |
| 坩埚材料 | OFE 铜缆 |
| 烘烤温度 | 230°C （446°F） |
安装配置
每个 e-Gun 都提供三种标准安装配置：
- e-Gun 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上，使用标准 OFE 铜垫圈
- e-Gun 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座，可通过 1 英寸直径的孔安装，并由压缩 O 形圈密封
- 单独使用 e-Gun，无需安装法兰
请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。
通常提供其他安装法兰、配置和几何形状，请致电工厂了解更多信息。
订购信息
| 型号 | 描述 |
|---|---|
| HCF1007 | 7 cc 单坩埚 |
| HCF1015 | 15 cc 单坩埚 |
| HCF1025 | 25 cc 单坩埚 |
| HCF1040 | 40 cc 单坩埚 |
选项
发射器组件
| 型号 | 描述 |
|---|---|
| 112128-SD | 标准 |
| 112128-HD | 重型 |
| 112128-德国 | 双丝 |
备件套件
| 型号 | 描述 |
|---|---|
| HC/ERK-SD 型 | 标准 |
| HC/ERK-HD 型 | 重型 |
| HC/ERK-DE | 双丝 |
