美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , e-Gun™ – 单刀槽,HCCS 系列 Compact Source 10cc e-Gun™
美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , e-Gun™ – 单刀槽,HCCS 系列 Compact Source 10cc e-Gun™
HCCS 系列 Compact Source 10cc e-Gun™
蒸发源
系列：HCCS
Compact Source 10 cc 电子枪™
我们的 HCCS 系列紧凑型电源可保护发射器和 H.V. F/T 在安装和服务过程中免受损坏和短路。H2O 冷却系统增强了传热，从而提高了速率稳定性并防止损坏电子束源。这种紧凑的离子源设计易于安装。
图为 HCCS 10 cc：
特征：
- 10 kW（最大 -6kV 至 -10kV）e-Gun 源
- 完全屏蔽的发射器和 H.V. F/T
- 兼容高真空 （HV） 和超高真空 （UHV）
- 低释气
- 用于薄膜和其他高精度沉积应用的高纯度蒸发。
- 无光束扫描，专为金属材料设计
- 源快门（气动或手动）和 HV 馈入装置
- 紧凑型源可以转换为 1“ 直径的棒式馈电源
