美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , 多刀位,RCR 系列 3 kW 多坩埚旋转喷枪™
RCR 系列 3 kW 多坩埚旋转喷枪™
| 根据需要选择 4 6 8 | |
| 根据需要选择 2.24cc 4毫升 | |
| 根据需要选择 右舵驾驶 左舵驾驶 后驱 底部驱动 |
RCR 系列 3 kW 多坩埚旋转喷枪™
新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩埚旋转电子枪™提供增强的光束稳定性和高效的 XY 扫描，坩埚完全覆盖，自动分度器（单独出售）提供自动定位功能。
特征
- 真正的 XY 清扫，坩埚完全覆盖
- 源附带的扫频线圈
- 增强的光束准直
- 插件发射器模块
- 增强的高稳定性冷却
- 交叉污染屏蔽
- 坚固的设计
- 可选的自动索引器
多坩埚 e-Gun 的工作原理与单坩埚源相同，具有以下优点：
- 蒸发剂供应量大 — 当每个坩埚都填充相同的源材料时，可以在单个真空循环中蒸发增加的蒸发剂体积。
- 在一个真空循环中沉积多达八种不同的材料 — 可以在一个真空循环中将不同的材料放入每个坩埚中，并按任何顺序沉积。沉积速率与单个坩埚模型的沉积速率相同。一次只加热一个坩埚。单丝保持静止，坩埚头由驱动手柄分度到位。因此，蒸发总是来自真空室中的完全相同的位置。非活性坩埚通过磁极片与加热的坩埚隔开，从而消除了坩埚之间的污染。
兼容高真空
金属和弹性体密封件，测量的基压：2 x 10-9托。
可互换坩埚
主坩埚轮可以从源的顶部拆下，而无需完全拆卸源。这种灵活性允许现场升级。
特价
所有多坩埚电子喷枪都可以安装在更大直径的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法兰上，单个或背对背。
规格
| 工作压力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想选择 |
| 光束电压 | 4,000 伏 |
| 束流 | 0–750 mA 连续可变 |
| 最大功率 | 3,000 瓦 |
| 冷却水 | 1.5 加仑/分钟 |
| 最大烘烤温度 | 120°C （150°F） |
| 坩埚体积 | 2.24 cc x 4、6 或 8 个坩埚 |
安装配置
每个 e-Gun™ 都提供三种标准安装配置：
- e-Gun™ 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上，使用标准 OFE 铜垫圈
- e-Gun™ 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座，可通过 1 英寸直径的孔安装，并由压缩 O 形圈密封
- 单独使用 e-Gun™，无需安装法兰
请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。
通常提供其他安装法兰、配置和几何形状，请致电工厂了解更多信息。
订购信息
| 型号 | 坩埚 |
|---|---|
| RCR0304-SD | 4 |
| RCR0304-BD | 4 |
| RCR0306-SD | 6 |
| RCR0306-BD | 6 |
| RCR0308-SD | 8 |
| RCR0308-BD | 8 |
注意：SD 表示侧驱，BD 表示底驱
