美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , 多刀位,HCR 系列旋转式电子枪™
HCR 系列旋转式电子枪™
蒸发源
系列：HCR
HCR 系列旋转式电子枪™是一种全金属密封的电子枪™，有 3 到 8 个坩埚版本，允许连续沉积多达 8 种材料。标准安装在 12 英寸外径的 CF 法兰上，包括自动分度器以及所有机械和电气连接。
蒸发源
系列：HCR
旋转式喷枪™
HCR 系列旋转式电子枪™是一种全金属密封的电子枪，有 3 到 8 个坩埚版本，允许连续沉积多达 8 种材料。标准安装在 12 英寸外径的 CF 法兰上，包括自动分度器以及所有机械和电气连接。
特征
- 提供 3 至 8 个坩埚
- 270° 光束偏转
- 多个坩埚，旋转设计
- 可互换的坩埚组件
- 长寿命发射器组件
- 轻松更换细丝
- 永磁梁定位
- 整体扫掠线圈
- 提供底部或侧面驱动
规格
| 特征 | 规格 |
| 最大功率 | 10 千瓦 |
| 发射电压 | -6 至 -10 kV |
| 发射电流 | 0 至 1 A |
| 灯丝 | 700 瓦 |
| 电子束偏转 | 270° |
| 光束光斑尺寸 | .25“ 直径，紧密横梁 |
| 蒸发速率 | 1 克/分钟 @ 10 kW 36,000 Å/min 铝 @ 10 英寸（250 毫米）光源到基底的距离 |
| X 和 Y 扫描 | 使用 Thermionics 扫描控制器运行时，纵向和横向控制高达 200 Hz |
| 水 | 3 gpm，20°C，50 psi 压差 |
| 坩埚材料 | OFE 铜缆 |
| 烘烤温度 | 120°C （250°F） |
安装配置
每个 e-Gun™ 都提供三种标准安装配置：
- e-Gun™ 安装在 PyraFlat 或 ConFlat 金属密封型法兰上，使用标准 OFE 铜垫圈
- e-Gun™ 带有 1 英寸直径的螺栓式安装座，可通过 1 英寸直径的孔安装，并由压缩 O 形圈密封
- 单独使用 e-Gun™，无需安装法兰
请在下订单时指定安装配置;成本可能不包括螺栓型或法兰型安装。
