美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , 多刀位,Hanks HM2 旋转袖珍电子枪™

美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , 多刀位,Hanks HM2 旋转袖珍电子枪

蒸发源

系列: 汉克斯

汉克斯 HM2旋转袖珍 e-Gun™

旋转式、多坩埚 e-Gun™

型号

权力

坩埚 否

坩埚体积

编号 R0607-46 千瓦47毫升
编号 R0610-46 千瓦410毫升
编号 R0615-46 千瓦415毫升
R1010-4 系列10 千瓦410毫升
R1015-4 系列10 千瓦415毫升
编号 R1025-410 千瓦425毫升

 

模块化磁铁

独特的模块化磁铁概念被整合到旋转口袋 Hanks HM2 e-Gun™ 设计中。这个概念使一个非常紧凑的单元成为可能(见外形图)。Hanks HM2 的所有独特功能都包含在此型号中。

 

Hyper-Unimelt Sweep (低速率或高速率的最佳控制)

高频扫描 (0-200 Hz) 为用户提供了 e-Gun™ 操作的完全灵活性。通过扭动 X-Y 扫描控制器上的旋钮,光束的大小可以改变,以适应被蒸发的材料。这对于光学镀膜和其他材料非常有益,其中光束尺寸在 1-2 Å 到非常高的沉积速率的最佳控制中起着重要作用。

规格

功率输出

6 千瓦10 千瓦
7.5 千伏10 kV
0 至 800 mA0 至 1.0 A

坩埚体积

7/10/15 毫升7/10/15/25 毫升

灯丝

12 伏交流电 60A

电子束

270° 偏转

蒸发速率

10 kW 时为 1 gm/min 

25 cm 处为 3.6 微米

光束光斑尺寸

.25“ 圆形(近似值)(光束可通过光束扫描控制器进行电动调节和定位)

坩埚

OFE 铜缆

烘烤温度

120°C (250°F)

70 psi 时为 3.0 gpm(过滤)

最小水管尺寸

3/8“ 直径 (6/10 kW)

压差

最小 50 psi

X 和 Y 扫描

Hyper-Unimelt 扫描(0 至 200 Hz 以上)


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