美国Thermionics, e-Gun™,电子枪TM , 多刀位,Hanks HM2 旋转袖珍电子枪™
蒸发源
系列: 汉克斯
汉克斯 HM2旋转袖珍 e-Gun™
旋转式、多坩埚 e-Gun™
型号 | 权力 | 坩埚 否 | 坩埚体积 |
编号 R0607-4 | 6 千瓦 | 4 | 7毫升 |
编号 R0610-4 | 6 千瓦 | 4 | 10毫升 |
编号 R0615-4 | 6 千瓦 | 4 | 15毫升 |
R1010-4 系列 | 10 千瓦 | 4 | 10毫升 |
R1015-4 系列 | 10 千瓦 | 4 | 15毫升 |
编号 R1025-4 | 10 千瓦 | 4 | 25毫升 |
模块化磁铁
独特的模块化磁铁概念被整合到旋转口袋 Hanks HM2 e-Gun™ 设计中。这个概念使一个非常紧凑的单元成为可能(见外形图)。Hanks HM2 的所有独特功能都包含在此型号中。
Hyper-Unimelt Sweep (低速率或高速率的最佳控制)
高频扫描 (0-200 Hz) 为用户提供了 e-Gun™ 操作的完全灵活性。通过扭动 X-Y 扫描控制器上的旋钮,光束的大小可以改变,以适应被蒸发的材料。这对于光学镀膜和其他材料非常有益,其中光束尺寸在 1-2 Å 到非常高的沉积速率的最佳控制中起着重要作用。
规格
功率输出 | 6 千瓦 | 10 千瓦 |
7.5 千伏 | 10 kV | |
0 至 800 mA | 0 至 1.0 A | |
坩埚体积 | 7/10/15 毫升 | 7/10/15/25 毫升 |
灯丝 | 12 伏交流电 60A | |
电子束 | 270° 偏转 | |
蒸发速率 | 10 kW 时为 1 gm/min 25 cm 处为 3.6 微米 | |
光束光斑尺寸 | .25“ 圆形(近似值)(光束可通过光束扫描控制器进行电动调节和定位) | |
坩埚 | OFE 铜缆 | |
烘烤温度 | 120°C (250°F) | |
水 | 70 psi 时为 3.0 gpm(过滤) | |
最小水管尺寸 | 3/8“ 直径 (6/10 kW) | |
压差 | 最小 50 psi | |
X 和 Y 扫描 | Hyper-Unimelt 扫描(0 至 200 Hz 以上) |