美国Thermionics, e-Gun™,操作、运动和样品处理,馈通件 ,RNN 旋转密封,RNN-150™ 系列

美国Thermionics, e-Gun™,操作运动和样品处理,馈通件 ,RNN 旋转密封

RNN-150™ 系列

差动泵旋转密封 (RNN) 通过 UHV 系统的真空壁提供 360° 连续旋转自由度

RNN™ 系列差动泵送旋转密封

差动泵旋转密封 (RNN) 通过 UHV 系统的真空壁提供 360° 连续旋转自由度。RNN 具有两级差动泵送,由特殊密封表面上的石墨浸渍、膨胀、特氟龙®密封件隔离。预紧的滚珠轴承组可精确控制旋转平台的位置。

RNN 提供蜗杆驱动微调选项。这允许更轻松、更准确地调整角度。RNN 还提供带消隙步进或同步电机驱动的产品。

列出了内径最大为 12 英寸的 RNN。更大的 ID 具有卓越的性能。特殊应用请咨询工厂。

规格

  • 标准净内径为 1.53 英寸至 12 英寸的型号,可根据要求提供更大尺寸
  • 可烘烤至 150°C
  • 固定法兰和旋转法兰,螺纹
  • 厚度约为两个 ConFlat 型法兰的厚度
  • 2 级差压泵送
  • 极限压力 10-11Torr 系列
  • 0–360° 刻度,带游标

RNN-400 和更大型号的典型性能规格

  • 分辨率:<0.004°
  • 重复精度:<0.008°
  • 背隙:<0.035°

可读性规格

  • 标准刻度:1.0°
  • 机械计数器:0.1°
  • 需要微步电机驱动才能获得最大分辨率

选项

  • 微调蜗杆传动
  • 微调数字读数,0.1° 读数,机械,不可复位
  • 提供机械计数器选项
  • 带手动旋钮的消隙步进电机驱动每整步 0.018°(RNN-150/MS 为 0.0225°/全步)
  • 可在 /FA 装置上提供定制的泵出管长度和曲轴长度

负载

下面列出了标准的最大负载。在特定应用下可以处理较大的负载。请咨询工厂以获取定制应用程序。

  • 有效载荷的重心位于装置极轴的“X”范围内,其中 X 等于 RNN 内径的 10%。
  • 有效载荷的重心位于水平安装装置上旋转法兰的“Y”距离内,其中 Y 是法兰内径。
  • 真空外部有效载荷的总体最大尺寸“A”为:
    垂直操作:7 x 法兰外径 水平操作:5 x 法兰外径 倒置操作:7 x 法兰外径
型号垂直水平
RNN-150 型54 磅30 磅45 磅
RNN-250 系列90 磅38 磅70 磅
RNN-400 系列144 磅66 磅110 磅
RNN-600 系列180 磅84 磅140 磅
RNN-800型200 磅91 磅160 磅
RNN-1000 系列370 磅160 磅280 磅
RNN-1200型430 磅200 磅350 磅

 

负载位置

表 1.RNN 系列差动泵旋转密封件

(包括可拆卸的调节扳手)

身份证法兰
外径
一个BCDEFGH型号
1.532.754.502.991.03.182.75.49.1360°RNN-150 型
1.532.75/616.002.991.343.332.75.15.1345°RNN-150/6型
2.534.55.753.641.363.584.50.49.0345°RNN-250 系列
2.534.5/616.003.641.523.714.50.33.0345°RNN-250/6 型
4.0367.754.571.684.346.02.37.0645°RNN-400 系列
6.03810.256.161.745.708.00.42.1354°RNN-600 系列
8.001012.057.031.946.7010.00.42.1345°RNN-800
10.0013.2515.758.812.378.5013.28.29.1324°RNN-1000 系列
12.001420.003.34RNN-1200

尺寸(英寸)
1分别表示安装法兰尺寸

表 2.RNN/FA 差动泵送旋转密封,带微调 1

身份证法兰
外径
一个BCDEFGH驱动
型号
1.532.755.133.381.004.952.75.490.3760°380:1RNN-150/FA 系列
1.532.75/626.003.841.345.322.75.150.3745°3100:1编号 RNN-150/6/FA
2.534.56.384.201.366.114.50.490.4145°3100:1RNN-250/FA 系列
2.534.5/626.384.201.526.114.50.330.4145°3100:1编号 RNN-250/6/FA
4.0368.508.251.689.286.02.370.5445°4100:1RNN-400/FA 系列
6.03810.258.501.749.938.00.421.1054°5100:1RNN-600/FA 系列
8.001012.759.561.9411.5010.00.421.1045°5100:1RNN-800/FA 系列
10.0013.2517.0011.862.3717.2513.28.29.9124°7100:1RNN-1000/FA 系列
12.0014咨询工厂RNN-1200/FA 系列

尺寸(英寸)

1微调装置采用蜗杆传动,在 RNN-400 和更大型号上具有动态反冲功能。它们带有大旋钮和曲柄手柄。
2分别表示安装法兰尺寸

表 3.RNN/MS 或 /MY 差动泵浦旋转密封件,带抗反冲/MS 步进或 /MY 同步电机驱动 1

身份证

法兰

 

外径

一个

B

C

D

E

F

G

H

驾驶

 

 

不。

1.532.755.1310.001.009.972.75.490.7460°3.3980:1RNN-150/MS 或 /MY
1.532.75/625.1310.001.349.972.75.150.7445°3.39100:1RNN-150/6/MS 或 /MY
2.534.56.3810.101.368.304.50.490.4145°3.39100:1RNN-250/MS 或 /MY
2.534.5/626.3810.101.528.304.50.330.4145°3.39100:1RNN-250/6/MS 或 /MY
4.0368.509.771.6811.696.02.370.5445°3.39100:1RNN-400/MS 或 /MY
6.03810.2010.131.7411.698.00.421.1054°3.39100:1RNN-600/MS 或 /MY
8.001012.7511.391.9411.6910.00.421.1045°3.39100:1RNN-800/MS 或 /MY
10.0013.25咨询工厂RNN-1000/MS 或 /MY
12.0014咨询工厂RNN-1200/MS 或 /MY
18.0024咨询工厂RNN-1800/MS 系列
24.0034咨询工厂RNN-2400/MS 系列

尺寸(英寸)

1电机驱动单元采用蜗杆驱动,并且都是动态消隙,电机后部带有手动旋钮
2分别表示安装法兰尺寸

 


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