美国Thermionics,超高真空产品,RCRF系列3千瓦杆供电电子枪,使用直径最大3/8英寸的蒸发源材,通过外部线性进料持续输送到坩埚中
RCRF系列3千瓦杆供电电子枪™
蒸发源
系列：RCRF
3千瓦RCRF系列杆供电子枪™使用直径最大3/8英寸的蒸发源材，通过外部线性进料持续输送到坩埚中。胶片厚度可以通过速率监测器控制，并可安装在不同的法兰上。
蒸发源
系列：RCRF
3千瓦杆供电电子枪™
3千瓦RCRF系列杆供电子枪使用直径最大3/8英寸的蒸发源材，通过外部线性进料持续输送到坩埚中。胶片厚度可以通过速率监测器控制，并可安装在不同的法兰上。
兼容 UHV
金属密封，完全兼容UHV，测量基压：2 x 10-11托尔。
安装与配置
- 3千瓦杆供电子枪可安装和作任何姿势，包括倒置（视材料而定）
- 照片中展示的杆饲电子枪可穿透2.5英寸的外置管
- 可选装冷藏罩以包围电子枪
- 多支连杆供弹电子枪可以并排安装
- 可定制设计，请咨询工厂
克努森细胞替换
电子枪可以蒸发难处理的材料，比如碳、铌和硅。
一根配备所有必要实用和机械进料的棒供电子枪，安装在4.5英寸外径ConFlat安装法兰上，可直接替代现有的Knudsen单元炉，适用于Varian/Intevac、Perkin-Elmer、Riber、EPI和VG系统。
请致电讨论您的具体申请要求。
规格
| 特色 | 规格 |
| 工作压力 | 低于5 x 10-5Torr 是最佳作的理想选择;完全兼容UHV的设计 |
| 束流电压 | 4000伏特 |
| 束流 | 0–750 mA 连续变速 |
| 最大功率 | 3千瓦@4千伏 |
| 冷却水 | 半加仑每分钟 |
| 最大烘焙温度 | 230°C（446°F） |
| 传递要求 | 两台7千伏50安 |
| 坩埚体积 | 直径1/4英寸或3/8英寸的杆子 |
| 电子枪尺寸 | 直径2.25英寸 x 长2.95英寸 |
安装配置
每支电子枪均有三种标准安装配置：
- 安装在PyraFlat或ConFlat金属密封法兰上的电子枪，使用标准OFE铜垫片
- 电子枪配备1英寸直径的螺栓式安装座，通过1英寸直径的孔安装，并通过压缩O型圈密封
- 仅用e-Gun，无安装法兰
请在下单时指定安装配置;费用可能不包括螺栓式或法兰式安装。
其他安装法兰、配置和几何形状也会定期供应，如需更多信息请联系工厂。
订购信息
| 型号编号。 | 描述 |
|---|---|
| RCRF0325 | 仅限杆供弹电子枪 |
| RCRF0325/斯凯尔 | 杆供弹电子枪，具备所有实用、电气和机械供弹 |
