美国Thermionics,超高真空产品,HCF系列, 6 kW+ 单一坩埚电子枪™,全金属密封大容量电子枪™,PyraFlat或CF型法兰,1英寸直径螺栓式安装,或无安装法兰
HCF系列 6 kW+ 单一坩埚电子枪™
蒸发源
系列:HCF
单一坩埚,全金属密封大容量电子枪™。提供三种标准安装配置:PyraFlat或CF型法兰、1英寸直径螺栓式安装,或无安装法兰。

蒸发源
系列:HCF
HCF系列6千瓦+电子枪™
HCF系列电子枪™是一款单一坩埚全金属密封的大容量电子枪。提供三种标准安装配置:PyraFlat或CF型法兰、1英寸直径螺栓式安装,或无安装法兰。
270°束偏转
高容量电子枪系列采用了经过验证的270°电子束偏转系统。灯丝隐藏在坩埚下方和视线之外。这防止了离子侵蚀,并最大限度地防止由杂散颗粒或冷凝液引起的短路。
长寿命发射器组件
270°电子束偏转设计通过新型改进的发射体组件得到了增强。
简易更换耗材
发射器组件设计使得耗材的拆除和更换变得快速且简单。耗材对准工具保持关键的耗材公差,从而实现快速且准确的耗材更换。
永磁束定位
主束流位置由永久磁铁控制。电磁铁用于精确定位和束流扫除。
兼容 UHV
金属密封,完全兼容UHV,测量基压:2 x 10-11托尔。
规格
| 特色 | 规格 |
| 最大功率 | 10千瓦 |
| 发射电压 | -6至-10千伏 |
| 发射电流 | 0到1 A |
| 丝材 | 700瓦 |
| 电子梁偏转 | 270° |
| 束斑尺寸 | 直径0.25英寸,宽线紧凑 |
| 蒸发率 | 1克/分钟 @ 10千瓦,36,000 Å/min 铝 @ 10英寸(250毫米)源至基底距离 |
| X和Y扫描 | 使用热电子扫频控制器作时,纵向和横向控制最高可达200 Hz |
| 水 | 3加仑/分钟,20°C,50 psi压力差 |
| 坩埚材料 | OFE铜管 |
| 烘焙温度 | 230°C(446°F) |
安装配置
每支电子枪均有三种标准安装配置:
- 安装在PyraFlat或ConFlat金属密封法兰上的电子枪,使用标准OFE铜垫片
- 电子枪配备1英寸直径的螺栓式安装座,通过1英寸直径的孔安装,并通过压缩O型圈密封
- 仅用e-Gun,无安装法兰
请在下单时指定安装配置;费用可能不包括螺栓式或法兰式安装。
其他安装法兰、配置和几何形状也会定期供应,如需更多信息请联系工厂。
订购信息
| 型号编号。 | 描述 |
|---|---|
| HCF1007 | 7 cc 单一坩埚 |
| HCF1015 | 15 cc 单一坩埚 |
| HCF1025 | 25 cc 单一坩埚 |
| HCF1040 | 40 cc 单缸坩埚 |
选项
发射器组件
| 型号编号。 | 描述 |
|---|---|
| 112128-SD | 标准 |
| 112128-HD | 重型 |
| 112128-DE | 双丝 |
备件套件
| 型号编号。 | 描述 |
|---|---|
| HC/ERK-SD | 标准 |
| HC/ERK-HD | 重型 |
| HC/ERK-DE | 双丝 |
