美国Thermionics,超高真空产品,HCF系列, 6 kW+ 单一坩埚电子枪™,全金属密封大容量电子枪™,PyraFlat或CF型法兰,1英寸直径螺栓式安装,或无安装法兰

美国Thermionics,超高真空产品,HCF系列, 6 kW+ 单一坩埚电子枪™,全金属密封大容量电子枪™,PyraFlat或CF型法兰,1英寸直径螺栓式安装,或无安装法兰

HCF系列 6 kW+ 单一坩埚电子枪™

蒸发源
系列:HCF

单一坩埚,全金属密封大容量电子枪™。提供三种标准安装配置:PyraFlat或CF型法兰、1英寸直径螺栓式安装,或无安装法兰。

蒸发源
系列:HCF

HCF系列6千瓦+电子枪™

HCF系列电子枪™是一款单一坩埚全金属密封的大容量电子枪。提供三种标准安装配置:PyraFlat或CF型法兰、1英寸直径螺栓式安装,或无安装法兰。

270°束偏转

高容量电子枪系列采用了经过验证的270°电子束偏转系统。灯丝隐藏在坩埚下方和视线之外。这防止了离子侵蚀,并最大限度地防止由杂散颗粒或冷凝液引起的短路。

长寿命发射器组件

270°电子束偏转设计通过新型改进的发射体组件得到了增强。

简易更换耗材

发射器组件设计使得耗材的拆除和更换变得快速且简单。耗材对准工具保持关键的耗材公差,从而实现快速且准确的耗材更换。

永磁束定位

主束流位置由永久磁铁控制。电磁铁用于精确定位和束流扫除。

兼容 UHV

金属密封,完全兼容UHV,测量基压:2 x 10-11托尔。

规格

特色规格
最大功率10千瓦
发射电压-6至-10千伏
发射电流0到1 A
丝材700瓦
电子梁偏转270°
束斑尺寸直径0.25英寸,宽线紧凑
蒸发率1克/分钟 @ 10千瓦,36,000 Å/min 铝 @ 10英寸(250毫米)源至基底距离
X和Y扫描使用热电子扫频控制器作时,纵向和横向控制最高可达200 Hz
3加仑/分钟,20°C,50 psi压力差
坩埚材料OFE铜管
烘焙温度230°C(446°F)

安装配置

每支电子枪均有三种标准安装配置:

  1. 安装在PyraFlat或ConFlat金属密封法兰上的电子枪,使用标准OFE铜垫片
  2. 电子枪配备1英寸直径的螺栓式安装座,通过1英寸直径的孔安装,并通过压缩O型圈密封
  3. 仅用e-Gun,无安装法兰

请在下单时指定安装配置;费用可能不包括螺栓式或法兰式安装。

其他安装法兰、配置和几何形状也会定期供应,如需更多信息请联系工厂。


订购信息

型号编号。描述
HCF10077 cc 单一坩埚
HCF101515 cc 单一坩埚
HCF102525 cc 单一坩埚
HCF104040 cc 单缸坩埚

选项

发射器组件

型号编号。描述
112128-SD标准
112128-HD重型
112128-DE双丝

备件套件

型号编号。描述
HC/ERK-SD标准
HC/ERK-HD重型
HC/ERK-DE双丝

 


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