蒸发源
系列：HCR

HCR系列旋转电子枪™有3至8个坩埚版本，允许连续沉积多达8种以上材料。标准安装为12英寸外径CF法兰，包含自动索引器及所有机械和电气连接。

蒸发源
系列：HCR
旋转电子枪™

HCR系列旋转电子枪™有3至8个坩埚版本，允许连续沉积多达8种以上材料。标准安装为12英寸外径CF法兰，包含自动索引器及所有机械和电气连接。

特色

• 3到8个坩埚可用
• 270°束偏转
• 多重坩埚，旋转设计
• 可更换坩埚组件
• 长寿命发射极组件
• 简易更换耗材
• 永磁束定位
• 积分扫线圈
• 提供底驱或侧驱两种

安装配置

每支电子枪™均有三种标准安装配置：

1. 安装在PyraFlat或ConFlat金属密封法兰上的电子枪™，使用标准OFE铜垫片
2. 电子枪™配备1英寸直径的螺栓式安装座，通过1英寸直径的孔安装，并通过压缩O型圈密封
3. 仅用e-Gun™，无安装法兰

请在下单时指定安装配置;费用可能不包括螺栓式或法兰式安装。

其他安装法兰、配置和几何形状也会定期供应，如需更多信息请联系工厂。

HCRC（高容量可拆卸坩埚）电子枪™

特色：

*可拆卸和可更换坩埚，111 cc

*坩埚热电偶用于原位温带测量

*270°波束偏转

*长寿命发射体组件

*易更换耗材

*延长的证词记录

*永久磁铁束流定位

* 整体扫线圈