美国Thermionics,超高真空产品,电子枪,HCL系列,多重坩埚线性电子枪™,全金属密封的电子枪,该源有3、4、5个以上的坩埚版本，支持连续沉积最多5种以上材料
HCL系列多重坩埚线性电子枪™
蒸发源
系列：盐酸盐
全金属密封的电子枪™。该源有3、4、5个以上的坩埚版本，支持连续沉积最多5种以上材料。标准安装为12英寸外径CF法兰，包含自动索引器及所有机械和电气连接。安装在15cc及以下排量的10英寸外置CF法兰上。
蒸发源
系列：盐酸盐
高容量（HC系列）线性多管坩埚线性电子枪™
HCL系列线性电子枪™是一款全金属密封的电子枪。该源有3、4、5个以上的坩埚版本，支持连续沉积最多5种以上材料。标准安装为12英寸外径CF法兰，包含自动索引器及所有机械和电气连接。安装在15cc及以下排量的10英寸外置CF法兰上。
兼容 UHV
- 金属密封，完全兼容UHV，测得的基压：2 x 10-11 托。
- 270°束偏转
- 耗材完全隐藏，以确保最大程度地防止由杂散颗粒引起的短路。
- 简易更换耗材
- 耗材对准工具在发射极组装过程中保持关键耗材公差，从而实现快速且准确的耗材更换。
- 永磁束定位
- 主束位置由永磁铁控制;电磁铁仅用于精确定位和束流扫除。
规格
- 最大功率：15千瓦
- 发射电压 -6 至 -15 kV
- 发射电流 0 到 1 A
- 耗材 700 W
- 电子束偏转度270°
- 梁斑尺寸：直径约0.25英寸，紧束
- 蒸发率 1克/分钟 @ 10千瓦，36,000 Å/min 铝 @ 10英寸（250毫米）源至基底距离
- 水3加仑每分钟，25磅每平方英寸的压力差
- 坩埚材料 OFE 铜
- 烘烤温度 230°C
坩埚体积选项：
