特征
- 真正的XY扫描，完全覆盖坩埚
- 源随附的扫频线圈
- 增强光束准直
- 插入式发射器模块
- 增强的高稳定性冷却
- 交叉污染屏蔽
- 坚固的设计
- 可选的自动索引器
- 大量的蒸发剂—当每个坩埚都充满相同的原料时，可以在单个真空循环中蒸发增加体积的蒸发剂。
- 在一个真空循环中最多可以沉积八种不同的材料-在单个真空循环中，可以将不同的材料放入每个坩埚中，并以任意顺序沉积。沉积速率与单坩埚模型的沉积速率相同。一次仅加热一个坩埚。单根灯丝保持静止，坩埚头被驱动手柄转位。因此，蒸发总是源自真空室中完全相同的位置。不活动的坩埚通过磁极件与加热的坩埚隔离开，从而消除了坩埚之间的污染。
高真空兼容
金属和弹性体密封件，测得的基本压力：2 x 10 -9 托。
可互换坩埚
主坩埚轮可从源顶部卸下，而无需完全拆卸源。这种灵活性允许现场升级。
特价商品
所有多个坩埚电子枪都可以单个或背对背安装在较大直径的ConFlat或矩形PyraFlat法兰上。
技术指标
| 运营压力 | 低于5 x 10 -5 托是理想的最佳操作 |
| 束电压 | 4,000伏 |
| 束流 | 0–750 mA连续可变 |
| 最大功率 | 3,000瓦 |
| 冷却水 | 1.5加仑/分 |
| 最高烘烤温度 | 120°C（150°F（华氏）） |
| 坩埚体积 | 2.24 cc x 4、6或8个坩埚 |
安装配置
每个e-Gun™都有三种标准安装配置：
- e-Gun™安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上，该法兰使用标准的OFE铜垫片
- 具有1“直径螺栓型安装座的e-Gun™，可通过1”直径孔安装，并通过压缩O形圈密封
- 单独的e-Gun™，没有安装法兰
请在下订单时指定安装配置；费用 可能 不包括螺栓型或法兰型安装。
常规提供其他安装法兰，配置和几何形状，请致电工厂以获取更多信息。
订购信息
| 型号。 | 坩埚 |
|---|---|
| RCR0304-SD | 4 |
| RCR0304-BD | 4 |
| RCR0306-SD | 6 |
| RCR0306-BD | 6 |
| RCR0308-SD | 8 |
| RCR0308-BD | 8 |
注意：SD表示侧面驱动器，BD表示底部驱动器
