Model Number | Power | Crucible No. | Crucible Volume |
R0607-4 | 6 kW | 4 | 7cc |
R0610-4 | 6 kW | 4 | 10cc |
R0615-4 | 6 kW | 4 | 15cc |
R1010-4 | 10 kW | 4 | 10cc |
R1015-4 | 10 kW | 4 | 15cc |
R1025-4 | 10 kW | 4 | 25cc |
Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪主要特征:
模块化磁铁
独特的模块化磁铁概念融入了旋转口袋Hanks HM2 e-Gun™设计中。这一概念使非常紧凑的装置成为可能(见外形图)。Hanks HM2的所有独特功能都包含在这款车型中。
Hyper-Unimelt扫描(低速率或高速率的最佳控制)
高频扫描(0-200Hz)为用户提供了e-Gun™操作的完全灵活性。通过旋转X-Y扫描控制器上的旋钮,可以改变光束的大小以适应蒸发的材料。这对光学涂层和其他材料非常有益,在这些材料中,光束尺寸在1-2Å到非常高的沉积速率的最佳控制中起着重要作用。
功率输出 | 6 kW | 10 kW |
7.5 kV | 10 kV | |
0 to 800 mA | 0 to 1.0 A | |
坩埚体积 | 7/10/15 cc | 7/10/15/25 cc |
灯丝 | 12 VAC 60A | |
电子束 | 270˚ deflection | |
蒸发率 | 1 gm/min at 10 kW 3.6 microns at 25 cm | |
光束光斑尺寸 | 0.25英寸圆形(近似)(光束可以通过光束扫描控制器进行电动调节和定位) | |
坩埚 | OFE copper | |
烘烤温度 | 120˚C (250˚F) | |
水 | 3.0 gpm (filtered) at 70 psi | |
最小水管尺寸 | 3/8” dia (6/10 kW) | |
压差 | 50 psi minimum | |
X and Y 扫描 | Hyper-Unimelt扫频(0至200 Hz以上) |