美国Thermionics Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪, 蒸发源

Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪

Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪主要型号:

Model Number

Power

Crucible No.

Crucible Volume

R0607-46 kW47cc
R0610-46 kW410cc
R0615-46 kW415cc
R1010-410 kW410cc
R1015-410 kW415cc
R1025-410 kW425cc

Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪主要特征:

模块化磁铁

独特的模块化磁铁概念融入了旋转口袋Hanks HM2 e-Gun™设计中。这一概念使非常紧凑的装置成为可能(见外形图)。Hanks HM2的所有独特功能都包含在这款车型中。

Hyper-Unimelt扫描(低速率或高速率的最佳控制)
高频扫描(0-200Hz)为用户提供了e-Gun™操作的完全灵活性。通过旋转X-Y扫描控制器上的旋钮,可以改变光束的大小以适应蒸发的材料。这对光学涂层和其他材料非常有益,在这些材料中,光束尺寸在1-2Å到非常高的沉积速率的最佳控制中起着重要作用。

Hanks HM2旋转式多坩埚电子枪技术参数:

功率输出

6 kW10 kW
7.5 kV10 kV
0 to 800 mA0 to 1.0 A

坩埚体积

7/10/15 cc7/10/15/25 cc

灯丝

12 VAC 60A

电子束

270˚ deflection

蒸发率

1 gm/min at 10 kW 

3.6 microns at 25 cm

光束光斑尺寸

0.25英寸圆形(近似)(光束可以通过光束扫描控制器进行电动调节和定位)

坩埚

OFE copper

烘烤温度

120˚C (250˚F)

3.0 gpm (filtered) at 70 psi

最小水管尺寸

3/8” dia (6/10 kW)

压差

50 psi minimum

X and Y 扫描

Hyper-Unimelt扫频(0至200 Hz以上)

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