Hydra 动态源电子枪主要特点:
优化的发射器和扫描线圈组件
消除了磁极组件,垂直安装的磁铁减少了磁通量
0-200 Hz 扫描,重复性好,均匀蒸发,无“隧道效应”及源材料喷发
精确稳定的蒸发速率,最低可达1-2 A/sec
比传统蒸发源小35%,在相同体积、蒸发速率和功率容量下
提供高真空(HV,2×10^-9 Torr)和超高真空(UHV,2×10^-11 Torr)版本
适合顺序蒸发或共同蒸发
提供电源、坩埚衬垫及其他配件
动态源电子枪主要型号:
Single — 7 cc 至 156 cc 单坩埚 / 1 发射器 – 6-20 kW
Single Rotary — 7 cc 至 25 cc – 4 坩埚 / 1 发射器 – 6 & 10 kW
Twin™ — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 2 坩埚 / 2 发射器 – 10 & 15 kW
Triad™ — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 3 坩埚 / 3 发射器 – 6 & 10 kW
Quadra — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 4 坩埚 / 4 发射器 – 6 & 10 kW
Hydra-1™ — 单阵列 5 个坩埚 / 1-3 发射器(详细信息见 Hydra 描述)
Hydra-2™ — 双阵列 5 个坩埚 / 1-3 发射器,共计 10 个坩埚 / 2-6 发射器(详细信息见 Hydra 描述)
Hanks HM² e-Guns 受以下一个或多个专利保护:4,835,789; 4,891,821; 4,947,404
Hydra动态源电子枪配置高效利用空间,支持四种不同的六个坩埚组合,以及最多42种两金属组合的排列,在单次真空抽气中实现共沉积。
Hydra动态源电子枪消除了相邻源之间的相互影响,无需复杂的束流方向和笨重的场屏蔽组件。因此,共蒸发设计允许源间距离接近,从而实现均匀涂层和材料相互作用。此外,每个源的独立水冷却防止蒸汽积聚,并且每个源配有独立的扫频线圈,确保每个源的操作参数完全独立于相邻源。
Hydra-1 & 2 技术参数:
特征 | 10 kW Model | 15 kW Model |
最大功率 | 10 kW | 15 kW |
坩埚体积 | 10/15 cc | 40 cc |
发射电压 | 10 kV | 10 kV |
发射电流 | 0 to 1.0 A | 0 to 1.5 A |
灯丝 | 700 W | 700 W |
电子束偏转 | 220° | 220° |
光束光斑尺寸 | 0.25″ diameter | 0.25″ diameter |
蒸发率 (for 铝) | 1 gm/min at 10 kW 3.6 microns at 25 cm | 1.5 gm/min at 15 kW 50,000 Å min |
X和Y扫描 | 超单带扫描(0-200Hz) | 超单带扫描(0-200Hz) |
水 | 3.0 gpm/坩埚,普通回流(高达30 gpm) | 3.0 gpm/坩埚,普通回流(高达30 gpm) |
坩埚材料 | OFE copper | OFE copper |
烘烤温度 | 230°C (446°F) | 230°C (446°F) |
电子枪尺寸——单阵列 | 6.25″ x 5.5″ x 15″ | 6.25″ x 5.75″ x 15″ |
电子枪尺寸——双阵列 | 6.25″ x 11″ x 15″ | 6.25″ x 11.5″ x 15″ |
电源供应:10 kW型号:10kW+e-Gun™电源; 15 kW型号:12kW e-Gun®电源