EC系列XYZ机械手以最低的成本提供高精度定位，可容纳1.39”和1.87”内径的波纹管，行程可达6”，有效负载能力可达10磅。

Thermionics EC
Thermionics EMC
Thermionics EMX
Thermionics FB
Thermionics FM
Thermionics EB
Thermionics XYZ

EC系列XYZ机械手

EC系列XYZ机械手以最低的成本提供高精度定位，可容纳1.39”和1.87”内径的波纹管，行程可达6”，有效负载能力可达10磅。

特征

• 完全组装后可烘烤至200°C；建筑中不使用铸件
• 硬化钢X和Y交叉辊导轨
• 双0.75″外径硬化不锈钢Z导杆
• 铝制舞台结构
• 暴露在真空中的纯不锈钢材料
• 全位置操作

x轴和Y轴

• 0.5”X和Y行程，圆形模式，预加载千分尺至载物台耦合，0.001”千分尺分度
• 可烘烤至200摄氏度的微米

z轴

• 0.100英寸/旋钮调节

可选项

6”底座法兰–

型号:-B600C

• 将底座法兰改为6.0″外径。
• 该选项可与任何型号一起订购

6英寸底座法兰，带5个微型端口——

型号:-B600MC

• 将底座法兰改为外径6.0英寸，带5个小端口
• 该选项仅可与1.39英寸内径的波纹管一起订购

XY千分尺，0.5英寸行程-

型号:/LM

• 0.0001”分度的大千分尺
• 两件套