Thermionics静态电子枪Hanks HM2 Hydra™多发射器、多坩埚
Hydra Static系列通过有效利用空间,提供四种或更多种不同材料的复杂共沉积过程和共蒸发。独特的模块化磁设计产生更有效的电子束。超单熔点200赫兹扫频消除了隧道效应和源物质喷发。插入式发射器组件和扫描线圈组件使源更容易维修。
易于灯丝对准,更有效的电子准直,最小的灯丝变形和消除电子试验。非常适合共蒸发!
专利:4,835,789; 4,891,291; 4,947,404
同时操作六(6)种不同的材料(可根据要求提供额外的坩埚设计)
全金属密封,完全UHV兼容,测量的基础压力:2×10-11托。
Hydra消除了邻近源的相互作用
获得专利的磁性设计允许源极接近,以实现均匀的涂层和材料相互作用
每个坩埚源都是独立水冷的,以防止蒸汽积聚
每个源坩埚有单独的扫描线圈,确保每个源的独立操作完整性,消除来自相邻源的串扰干扰
可拆卸的坩埚烟囱设计,便于清理沉积物
H2O冷却发射器底板和坩埚
有10kW或15kW两种型号
坩埚体积尺寸:10cc、15cc、40cc(可根据要求定制尺寸)
270°光束偏转,灯丝外壳隔离任何微粒暴露
提供动态坩埚设计
易于拆卸发射器组件的设计
Thermionics的超单熔点扫描设计(对低或高速率的最佳控制)
提供水平和垂直源法兰安装设计
• 光束卷曲的消除
• UHV额定扫描线圈包括在电源中(200 Hz)
• 消除极片
• 轻松对齐灯丝
• 更有效的电子准直
• 最小灯丝变形
• 电子尾的消除
• 全封闭发射器组件防止微粒
形成
• 每个热源都是独立水冷的
• 旨在消除串扰干扰