Thermionics静态电子枪Hanks HM2 Hydra™多发射器、多坩埚

Thermionics静态电子枪Hanks HM2 Hydra™多发射器多坩埚

Hydra Static系列通过有效利用空间,提供四种或更多种不同材料的复杂共沉积过程和共蒸发。独特的模块化磁设计产生更有效的电子束超单熔点200赫兹扫频消除了隧道效应源物质喷发。插入式发射器组件和扫描线圈组件使源更容易维修。

易于灯丝对准,更有效的电子准直,最小的灯丝变形和消除电子试验。非常适合共蒸发!

专利:4,835,789; 4,891,291; 4,947,404

同时操作六(6)种不同的材料(可根据要求提供额外的坩埚设计)

全金属密封,完全UHV兼容,测量的基础压力:2×10-11托。

Hydra消除了邻近源的相互作用

获得专利的磁性设计允许源极接近,以实现均匀的涂层和材料相互作用

每个坩埚源都是独立水冷的,以防止蒸汽积聚

每个源坩埚有单独的扫描线圈,确保每个源的独立操作完整性,消除来自相邻源的串扰干扰

可拆卸的坩埚烟囱设计,便于清理沉积物

H2O冷却发射器底板和坩埚

有10kW或15kW两种型号

坩埚体积尺寸:10cc、15cc、40cc(可根据要求定制尺寸)

270°光束偏转,灯丝外壳隔离任何微粒暴露

提供动态坩埚设计

易于拆卸发射器组件的设计

Thermionics的超单熔点扫描设计(对低或高速率的最佳控制)

提供水平和垂直源法兰安装设计

• 光束卷曲的消除

• UHV额定扫描线圈包括在电源中(200 Hz)

• 消除极片

• 轻松对齐灯丝

• 更有效的电子准直

• 最小灯丝变形

• 电子尾的消除

• 全封闭发射器组件防止微粒

形成

• 每个热源都是独立水冷的

• 旨在消除串扰干扰


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