Thermionics动态源电子枪Hanks HM2 Hydra模块化磁束聚焦系统

Thermionics动态源电子枪Hanks HM2 Hydra模块化磁束聚焦系统

我们的高效Hanks HM²电子枪提供获得专利和屡获殊荣的模块化磁束聚焦系统，具有增强的光束准直性，消除了光束卷曲。
HM²电子枪的尺寸也是标准e-Guns的2/3，磁性效率提高了350%。

们创新的Hanks HM Hydra设计由一(1)个或两(2)个紧凑的坩埚和发射器阵列组成，它们相互线性平移，可同时共沉积多达六种不同的材料。

特点:

• 优化的发射器和扫描线圈组件
• 取消极片——垂直安装的磁铁导致磁通量减少
• 0-200 Hz扫描，可重复，均匀蒸发，无“隧道效应”和源材料喷发
• 精确稳定的蒸发速率低至1-2a/秒
• 在同等体积、蒸发速率和功率下，比传统蒸发源小35%
• 有HV [2×10^-9托]和UHV [2×10^-11托]
• 连续蒸发或共蒸发的理想选择
• 电源、坩埚衬里和其他可用附件

可选型号

• Single

  — 7 cc to 156 cc single crucible / 1 emitter – 6-20 kW

• Single Rotary

  — 7 cc to 25 cc – 4 crucible / 1 emitter – 6 & 10 kW

• Twin™

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 2 crucible / 2 emitter – 10 & 15 kW

• Triad™

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 3 crucible / 3 emitter – 6 & 10 kW

• Quadra

  — 10 cc, 15 cc, 40 cc – 4 crucible / 4 emitter – 6 & 10 kW

• Hydra-1™

  — Single array of 5 crucibles / 1-3 emitters (see Hydra description below for more details)

• Hydra-2™

  — Dual array of 5 crucibles / 1-3 emitters, totaling 10 crucibles / 2-6 emitters (see Hydra description below for more details)

Hanks HM²电子枪 are manufactured and protected under one or more of the following patents: 4,835,789; 4,891,821; 4,947,404

我们创新的Hanks HM Hydra设计由一(1)个或两(2)个紧凑的坩埚和发射器阵列组成，它们相互线性平移，可同时共沉积多达六种不同的材料。

Hydra配置对空间的有效利用允许六个坩埚的四(4)种不同组合，并且两种金属组合的多达四十二种排列可用于在单个真空泵中的共沉积。

Hydra消除了邻近源的相互作用，而没有复杂的波束方向和庞大的场分流部件。因此，共蒸发设计允许紧密的源接近，以获得均匀的涂层和材料相互作用。此外，每个源的单独水冷却防止蒸汽积聚，并且每个源包括单独的扫描盘管，并且促进每个源的操作参数与相邻源的完全独立性。

Hydra-1和2规格