Thermionic HCCS系列紧凑型源10cc电子枪
蒸发源系列:HCCS系列紧凑型源10cc电子枪
我们的HCCS系列紧凑型源在安装和维修过程中保护发射器和高频/晶体管免受损坏和短路。H2O冷却系统增强了热传递，从而提高了速率稳定性并防止了对电子束源的损坏。这种紧凑的来源是为方便安装而设计的。
HCCS 10 cc如图:
特点
- 10千瓦(-最大6kV至-10kV)电子枪电源
- 完全屏蔽的发射器和高频/微波发射器
- 高真空(HV)和超高真空(UHV)兼容
- 低除气性
- 用于薄膜和其他高精度沉积应用的高纯度蒸发。
- 无光束扫描，设计用于金属材料
- 源闸门(气动或手动)和高压馈通
- 紧凑的源可以转换成1″直径。杆馈源
规格
工作压力：为了达到最佳操作效果，最好低于5 x 10-5Torr
发射电压：-6至-10 kV
发射电流：0至1A
最大功率：10 kW
冷却水：1.5 gpm
压差：最小25 psi
最高烘烤温度。230摄氏度
坩埚体积：10毫升
