电子回旋共振离子源，可产生带点原子和分子离子束流。等离子体由一个固态微波发生器加热，萃取系统是一个静电棱镜。工作气体由一个高重复性高稳定性的控制器提供，设备很容易安装在高压静电加速器的终端。
能量：最高30kev
束流大小：100 eμA
微波频率：（2.45 ± 0.15）GHZ
最大微波能量：200w
尺寸：
等离子体腔体长度：200mm
等离子体腔体直径：100mm
离子源长度：290mm
离子源直径：210mm
重量：20kg（拓展系统35kg）
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