用于 CVD 工艺的热处理炉 化学气相沉积工艺炉 CVD涂层 CVD涂层剥离

如今,燃气轮机已广泛应用于各种领域:

除了用于飞机发动机等移动设备外,也用于船舶(甚至是汽车)中,如今在电站领域的固定式燃气轮机中也已成为不可或缺的关键设备。
为了实现更高的热效率,这些燃气轮机需要在极高温度下运行,这就要求对涡轮叶片进行涂层处理。在叶片进行维修时,需先去除原有涂层,待维修完成后再重新涂覆

SYSTHERMS 提供的炉体系统,既适用于 CVD 涂层处理,也可用于去除这些涂层(剥离)


携手共赢:

您掌握工艺,我们提供设备

无论是涂层还是剥离工艺过程控制均由客户决定,相关工艺参数属于您的技术机密,我们完全尊重。


CVD 工艺炉

SYSTHERMS 会根据您的工艺需求,量身定制热处理炉系统
我们所需的信息包括:

  • 使用的气体种类

  • 加热与冷却速率

  • 温度范围

  • 待处理零件的尺寸与数量

有了这些信息后,我们可以为您精确设计系统,以实现最大化的工艺效益

欢迎联系我们,我们将乐意为您提供咨询建议。


安全为先:

CVD工艺后的反应管
CVD工艺后的反应管

我们秉持航空工业的安全理念

CVD 工艺中使用的介质常常具有健康危害,这些有害物质必须谨慎处理,并尽可能消除对人类和环境的风险
我们的始终准则是:安全第一!

SYSTHERMS 的系统在设计时,经过严密的部件选择与冗余备份,以最大程度避免故障发生。
即使发生故障,我们配置的高灵敏度传感器系统可以在早期发现异常并定位问题

一旦检测到异常,SYSTHERMS 的安全控制软件会立即将系统置于安全状态,从而杜绝对人员和环境的伤害

我们的安全优先顺序为:

  1. 环境保护

  2. 系统保护

  3. 工件保护

故障的可能性包括:

  • 系统部件故障或失效

  • 气体供应中断

  • 电力故障

我们已为这些情况采取相应的预防措施。
当系统进入安全停机后,服务方案将协助您快速排除故障根源
我们的服务技术人员经验丰富,响应迅速。


技术参数:

  • 使用气体:氩气 (Ar)、氢气 (H₂)、氯化氢 (HCl)、氟化氢 (HF)、氮气 (N₂)

  • 废气处理:NaOH、KOH 湿式洗涤器,干式过滤器

  • 标准炉腔尺寸:

    • Ø750 x 650 mm

    • Ø900 x 900 mm

    • Ø1100 x 1100 mm

  • 最大装载重量:1500 kg

  • 最高温度:1100°C

  • 温度均匀性:±5 K

  • 马弗罐内外均可进行真空/压力控制


可选结构形式:

  • 升降螺旋机构带罩壳式设计

  • 底部悬挂吊车带罩壳式设计

  • 平台式结构设计


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