- 120、220和320 amu系统
- 内置I/O端口、继电器和GPIO
- 轻松的峰值调谐
- 5 x 10-14托检测极限
- 新的RGASoft视窗软件
- 提高基线灵敏度的混合静电计
- USB、RS-232和以太网接口

SRS公司的新型120、220和320 amu残余气体分析仪提供了更大的质量范围、更好的性能和内置模拟I/O等新功能。SRS基于之前的RGA100系列,继续提供RGA120系列无可比拟的价值。每个RGA系统都配有一个四极杆探头、电子控制单元(ECU)和一个实时的用于数据采集和分析以及探头控制的Windows软件包。 |
RGA120系列残余气体分析仪
SRS的120、220和320 amu残余气体分析仪提供卓越的性能和价值。这些RGA提供详细的真空系统气体分析,价格约为竞争机型的一半。每个RGA系统都配有一个四极杆探头、电子控制单元(ECU)和一个用于数据采集和分析以及探头控制的实时Windows软件包。
坚固的探头设计
![]() 连续倍增电极电子倍增器 |
探针由离子发生器、四极滤质器和检测器组成。简单的设计有少量的零件,最大限度地减少排气,并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用,安装在标准的2.75英寸Conflat法兰上。它被封装在一个不锈钢管内,除了离子发生器,它在真空系统中只需要2.5英寸的间隙,大约相当于一个标准的离子真空计。探针的设计使用了自动对准零件,清洗后可轻松重新组装。
紧凑型电子控制单元
密集包装的ECU包含控制RGA头所需的所有电子设备。它由外部+24 VDC (2.5 A)电源供电,内置插入交流电源插座的电源模块。LED指示器提供关于电子倍增器、灯丝、电子系统和探针状态的即时反馈。ECU可以很容易地从探头上拆下高温烘烤.
独特的灯丝设计
一种长寿命双钍铱合金(ThO2/Ir)灯丝用于电子发射。双重ThO2/Ir灯丝比单根灯丝耐用得多,最大限度地延长了更换灯丝的时间。与其他设计不同,用户可以在几分钟内更换SRS灯丝。改进的灯丝保护在打开灯丝之前检查过程压力。
![]() 双重ThO2/Ir灯丝 |
连续倍增电极电子倍增器
法拉第杯检测器是SRS RGAs的标准配置,允许从以下位置测量分压10-5到5 × 10-11托。为了提高灵敏度和更快的扫描速度,提供了一个可选的电子倍增器,可检测低至5 × 10-14托. 这种最先进的宏观多通道,连续倍增电极电子倍增器(EM)提供了更长的寿命和稳定性,也可以由用户更换。
自动峰值调谐
使用具有动态RF共振频率跟踪的有效RF产生来提供增加的质量范围。它还可以使用独立的射频/DC控制实现自动峰值调谐,同时将扫描速度提高到130 AMU/s (260 AMU/s,每个AMU 10个点)。
新型混合静电计
更宽动态范围的混合静电计在低电流(< 1 nA)时用作线性放大器,在高电流(高达2 uA)时用作对数放大器。在低电流值或负电流值下,线性模式可提高基线灵敏度
这种温度补偿的混合对数静电计检测来自10-7到10-15安培数在一次扫描中,精度优于2 %。这种巨大的动态范围意味着您可以同时测量小气体浓度和大气体浓度。
![]() 加热器护套 |
内置输入输出
丰富的输入/输出连接提供了对RGA的监控和控制,也支持外部过程控制。包括外部扫描触发器、可配置的基于事件的继电器、GPIO和用于扫描期间温度监控的RTD输入。模拟输出提供与任何扫描变量成比例的信号,包括分压。
完全可编程
与计算机的通信通过USB、以太网或RS-232接口。模拟和直方图(条)扫描、泄漏检测和探头参数都通过广泛的SCPI命令集进行控制和监控。这允许容易地集成到现有程序中。
RGASoft视窗软件
![]() 压力与时间模式 |
包括一个全新的RGASoft Windows应用程序。凭借丰富的功能集和现代化的用户界面设计,扫描数据可实时捕获和显示,或计划在给定的时间间隔采集,以便进行长期数据记录。可以在一个序列中收集多个光谱数据和单个测量值。多功能停靠窗口和窗口部件为用户提供了多种组织显示的方式。数据可以手动或自动缩放,以线性或对数格式绘制在图上。单位可在托、巴、帕斯卡和安培之间选择。功能包括普通气体标签、可编程音频和视频警报、可扩展库、成分分析和全面的在线帮助。
该软件还允许通过简单的质量标度调谐、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整来完成RGA控制。为了进一步分析,数据文件可以保存为CSV文本格式,以便于转换为电子表格。图形图像可以保存为常见格式(PNG,BMP,TIFF,JPG,SVG,PDF)或复制到剪贴板直接导入到其他程序。
当需要多个RGA时,软件支持多头操作。多个rga可以与多个软件实例同时控制和运行。rga的数量仅受系统资源的限制。
![]() 模拟模式 |
性能和价值
新型RGA120系列是气体分析、泄漏检测和真空处理应用的理想选择。我们提供支持Windows软件的120、220和320 amu系统,以及包括电子倍增器和内置交流线路操作的电源模块。RGA视窗软件可从SRS网站下载。
![]() RGA120尺寸图 |