Special Optics 高分辨率（小光斑尺寸）F-Theta Scan 镜头可实现超精细分辨率激光切割和蚀刻。我们的标准和定制激光扫描镜头专为全球最苛刻的激光微加工客户而开发。根据我们的客户，我们通常提供光学行业中最高的分辨率、最小的光斑尺寸、最严格的公差和镜头耐用性。

我们的 F-Theta Scan 镜头非常适合与我们的大型输出扩束镜结合使用，用于各种激光加工和激光微加工任务，例如太阳能电池切割、激光打标、激光钻孔和激光划线。

特征：

• 像平面上的平场
• 衍射极限性能
• 高损伤阈值的空气间隔设计
• 所有表面的增透膜
• 从紫外到可见光和红外区域的设计

应用：

• 太阳能电池的激光切割
• 金属和陶瓷板 （PCB） 的激光钻孔各种材料（汽车零件、IC、智能卡）的激光打标
• 陶瓷基板的激光划线 用于生物技术的共聚焦扫描光束激光显微镜

远心紫外激光扫描镜头

特殊光学远心 F-Theta 紫外扫描镜头在标记激光材料加工的物体时提供更大的景深和更小的光斑尺寸。远心扫描镜头，就其设计本身而言，保持光束到工件的接近正常入射角。这可确保在整个扫描范围内将位置误差和图像失真降至最低。使用较短的波长，可以实现更小的光斑尺寸。

具有更大的景深和更小的光斑尺寸对于精密激光微加工工艺非常重要，因为在这种工艺中，需要产生精细的光斑尺寸，以便控制激光标记、划线或钻孔的宽度，同时在相对较大的区域上保持精确放置。实现这一点的能力有时会受到晶片或太阳能电池板的最小翘曲的影响。

• 焦距为 34 毫米、50 毫米和 100 毫米，可用于 266nm 或 355nm 波长
• 扫描区域范围为 9 毫米、20 毫米、45 毫米和 55 毫米
• 专为适应 17 mm 至 10 mm 的大输入光束直径而开发
• 实现的光斑尺寸分别为 1.0 微米、2.5 微米和 5 微米
• 衍射极限和远心度偏差小于 0.9%

特征

• 衍射极限设计
• 精密制造和组装
• 空气间隔设计
• 提供消色差设计

VIS-NIR 激光扫描镜头

Special Optics 高精度 F-Theta 扫描镜头（450nm 至 1064nm）可实现超精细分辨率激光切割和蚀刻，并用于最苛刻的激光微加工应用。特殊光学 F-Theta 扫描透镜与我们的大型输出扩束镜完美结合，用于各种激光加工和激光微加工任务，例如太阳能电池切割、激光打标、激光钻孔和激光划线。除了列出的镜头外，Special Optics 还定期为各种 OEM 应用和性能水平设计定制激光光学系统。

特征

• 在图像平面上提供平场
• 衍射极限性能
• 高损伤阈值的空气间隔设计
• 所有表面的增透膜
• 从可见光到红外区域的设计
• 提供消色差设计