2024年12月4日 何小姐19375106483（微信同号）德国SIOS NPP-1纳米定位平台 用于 AFM 的平面激光干涉测量和定位系统纳米定位平台 NPP-1用于 AFM 的平面激光干涉测量和定位系统最高精度的 2.5 D 定位和测量系统测量和定位范围：表面 Ø 100 mm横向测量分辨率 ≤ 0.02 nm控制：3 个光纤耦合差分干涉仪使用 633 nm 的 HeNe 激光器作为干涉仪的光源，实现计量重复性。原子力显微镜作为探测测量系统，可根据要求提供其他显微镜开放式设备架构支持客户特定传感器的应用NPP-1 通过 PC 软件进行控制。用户 API 可用。NPP-1 纳米测量和定位平台允许在约 100 毫米的范围内进行定位。用于控制的激光干涉仪的高分辨率、定位天线的刚性结构、定位系统的空气轴承轴和优化的控制系统允许运动的位置偏差和路径保真度< 2 nm RMS。测量对象直接放置在移动镜上。反射镜的位置和旋转是通过干涉测量法检测的。该系统使用 SP-DI/F 系列的超稳定干涉仪。来自稳定激光器的光通过光纤从电子单元传输到干涉仪头。这导致了 NPP-1 的紧凑和温度稳定的设计。该平台的有效载荷高达 5 kg，甚至可以使用该平台高精度定位更大更重的物体。NPP-1 纳米定位系统的原理设计为可扩展，因此系统可以根据要求进行定制。技术数据应用领域在大空间范围内以纳米级精度对微电子、微机械、光学、微系统技术物体进行定位、操作、处理和测量可以在大面积上进行连续 AFM 扫描开放式设备架构，可使用客户定制的探测传感器适用纳米结构研究/开发纳米定位平台的测量原理 SIOS SIOS-Meßtechnik 三光束激光干涉仪 三轴激光干涉仪 位移角差分干涉仪 双光束激光干涉仪 双轴激光干涉仪 差分激光干涉仪 校准激光干涉仪 激光干涉仪 远距离激光干涉仪
