德国SIOS LM 20/50高线性度探头 用于高精度触觉厚度测量和校准

LM 系列激光干涉探头是精密线性编码器。使用这些探头，可以在 20 或 50 mm 的测量范围内进行触觉测量，精度达到纳米级。高线性长度测量仪的尺寸和 Ø 8 mm h6 的夹紧轴直径与传统测量系统兼容。
集成的激光干涉仪将电机驱动测量主轴的测量运动转换为干涉信号。该光学测量信号通过光纤传输到光电电源和评估单元，并作为长度值输出。测针套筒和集成干涉仪相互调整，同时考虑到阿贝误差和对准误差的最小化。
稳定的氦氖激光器，其光通过光纤馈送到激光干涉仪，并校正环境对激光波长的影响，是高测量精度的基础。操作和显示要么通过单独的显示器，要么通过装有适当软件的 PC。