纳米振动分析仪 NA
用于微结构和 MEMS 的测振仪系统
- 对微物体进行高精度、非接触式振动测量
- 易于调整和处理
- 广泛的触发选项
- X-Y 工作台 50 mm x 50 mm，可根据要求提供其他选项
- 显微镜物镜 10x、20x、50x
- 光斑直径 2 μm – 10 μm，（取决于物镜）
- 可以 OEM 使用测振仪单元
- Windows 和 Linux 下 OEM 软件的开放接口
- 用于频谱分析的 FFT 软件
纳米振动分析仪 NA 是 LSV 120 NG 系列光纤耦合激光测振仪与工程显微镜的组合。该系统非常适合测量微结构、MEMS 和悬臂的动态行为和静态挠度。根据所使用的物镜，可以实现小于 2 μm 的测量光斑尺寸。
可以使用 X-Y 平台在大范围内定位和扫描被测物体，并且可以通过相机进行观察。显微镜物镜是可互换的，并定义了可见光范围和激光光斑直径。激光干涉测振仪可实现的位移分辨率在皮米范围内，可以分析高达 5 MHz 的振动频率。
提供专门开发的软件，用于采集和显示测量数据。除了振动的频率分析和触发测量记录外，该软件还可以控制 X-Y 工作台和外部频率发生器。可以通过脚本自动执行更广泛的测量序列。
可以使用 X-Y 平台在大范围内定位和扫描被测物体，并且可以通过相机进行观察。显微镜物镜是可互换的，并定义了可见光范围和激光光斑直径。激光干涉测振仪可实现的位移分辨率在皮米范围内，可以分析高达 5 MHz 的振动频率。
提供专门开发的软件，用于采集和显示测量数据。除了振动的频率分析和触发测量记录外，该软件还可以控制 X-Y 工作台和外部频率发生器。可以通过脚本自动执行更广泛的测量序列。
