纳米定位和纳米测量机 NMM-1
以纳米精度对物体和结构进行定位、操纵、加工和测量
- 世界上最精密的纳米定位和纳米计量机器
- 测量和定位范围 25 x 25 x 5 mm
- 分辨率 0.1 nm
- 最高精度的 3D 定位和测量系统
- 探测系统，例如激光聚焦传感器、原子力显微镜、白光传感器、3D 微型扫描仪
- 开放式设备架构支持定制传感器的应用
- NMM-1 通过 PC 软件进行控制。用户 API 可用。
用于三维坐标测量的纳米定位和纳米测量机在 25 mm x 25 mm x 5 mm 的测量范围内运行，分辨率为 0.1 nm。特殊的传感器布置确保所有三个坐标轴的测量均无像差。三个微型干涉仪的测量轴在探测传感器和被测物体之间的接触点处几乎相交。
被测物体直接位于可移动的镜角上。反射镜角的位置由三个固定的微型干涉仪检测。镜角采用三轴驱动系统定位。两个角度传感器用于测量和补偿定位过程中的角度偏差。
来自一个稳定激光器的光通过光纤从电子单元传输到干涉仪头。这导致了纳米定位和纳米测量机的紧凑且温度稳定的设计。
纳米测量机是世界上唯一一种在正常条件下以亚纳米精度安全适用于宏观物体测量的计量系统，并在多个国家计量机构使用。
