差分激光干涉仪 SP 5000 DI/F
超稳定紧凑型差分激光干涉仪
- 最高精度的差长或角度测量
- 通过差分测量将环境影响降至最低
- 热超稳定传感器设计，温度灵敏度< 10 nm/K
- 可以使用各种光学反射器，例如球面反射器、平面镜反射器
- 测量反射镜的倾斜不变性大
- 紧凑而坚固的设计
- 标配不锈钢传感器头设计
- 光束距离： 14 mm
- 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本
- 可用作具有可选接口的反馈系统
- 广泛的触发选项
超稳定、紧凑的 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为必须长时间进行高度稳定长度测量的应用而设计。紧凑的传感器设计即使在狭小的空间内也能实现长期稳定的调整和放置，因此该精密测量系统非常适合用作闭环控制回路的激光栅尺。该应用需要一个外部参考点，该参考点通常位于测量范围的中间，以实现最佳的测量值稳定性。干涉仪的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也能实现亚纳米级的长度分辨率。很容易进行数米的测量，因此可以使用 SP 系列的反射器。
技术数据
应用领域
- 差分激光干涉仪提供 OEM 版本，可作为编码器安装在机器轴中。对于真空测量，SP 5000 DI/F 可提供真空优化版本。
- 可用作闭环控制回路的反馈系统
- 标准光束距离为 14 mm。我们可根据要求提供其他光束距离。
