德国SIOS SP 5000 DS双光束激光干涉仪 用于同时进行准确的长度和角度测量

双光束激光干涉仪 SP 5000 DS

双光束激光干涉仪，用于同时进行准确的长度和角度测量

• 具有最高精度的灵活长度测量系统
• 最高精度的角度检测
• 易于调整和处理
• 可以使用各种光学反射器，例如球面反射器、平面镜反射器
• 测量反射镜允许倾斜高达 ± 12.5°
• 紧凑的设计
• 传感器头有铝、不锈钢或因瓦合金材质
• 光束距离：12 mm 标准，可根据要求提供其他
• 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本
• 广泛的触发选项

SP 5000 DS 双光束激光干涉仪用于除了长度信息外，还需要同时采集运动角度的测量任务。该干涉仪的测量原理基于 SP 5000 NG 测量设备。
两个测量激光束使用相同频率的普通激光的光。两个测量光束之间的光束间距经过高精度校准。测量光束彼此之间的平行度非常重要。如果两个光束都使用一个公共反射器，则可以通过形成差值来以高分辨率测量和计算运动的角度。
如果两个光束彼此独立运行，则可以进行差分测量。对于差分测量的长期稳定性特别高的要求，我们推荐 SP 5000 DI 系列干涉仪。需要同时采集另一个角度的测量任务可以使用三光束 SP 5000 TR 干涉仪执行。

技术数据