位移角差分干涉仪 SP 5000 DI/DS
四光束激光干涉位移角差测量系统
- 高度稳定的差分长度和螺距角测量
- XY 载物台的完美选择
- 光束距离 15 mm（长度测量）和 6 mm（角度测量）
- 极低的温度灵敏度< 20 nm/K
- 该设备提供 OEM 和真空版本
SP 5000 DI/DS 干涉仪结合了差分干涉仪和多光束干涉仪的优点。它首次将基于差分原理的高度稳定的长度测量与高分辨率干涉倾斜角测量相结合。这使得不仅可以检测最微小的运动，还可以检测更大区域的最小倾斜，而不会使结果受到热和物理环境的影响。
干涉仪设计用于平面镜和内置测量系统。可以使用反射器。干涉仪使用集成到光束路径中的超稳定光学元件进行调整。
