三轴激光干涉仪 SP 5000 TR
- 具有最高精度的灵活长度测量系统
- 由于集成了光束方向检测，易于处理和调整
- 可以使用各种光学反射器，例如球面反射器、平面镜反射器
- 测量反射镜允许倾斜高达 ± 12.5°
- 紧凑的设计
- 传感器头设计可选铝制、不锈钢或因瓦合金
- 光束距离： 12 mm
- 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本
- 光束偏转，可选配可调节偏转镜
- 通过可选接口扩展应用范围
- 广泛的触发选项
- 根据当前有效标准的校准软件
工业和研究的许多应用领域都需要高精度的同步位移和角度测量。在固定三反射器单元的滑块运动过程中，同时采集俯仰角和偏航角以及长度测量，可以快速、高精度地评估运动轴。快速简单的传感器调整在这里尤为重要。
SP 5000 TR 三光束激光干涉仪是将三个干涉仪组合在一个设备中的精密长度测量仪器。所有三个测量通道都由一个具有相同高度稳定激光频率的光源馈送。因此，可以以纳米级精度同时测量三个长度值。根据两个长度值之间的差异和校准的光束距离，可以高分辨率、高精度地确定相应的角度。
干涉仪系统采用模块化设计，因此可以适应各种测量任务。
传感器头的光纤耦合和可选的集成光束方向检测支持轻松操作和精确调整。
SP 5000 TR 三光束干涉仪的设计紧凑而坚固。这使其成为工业和研究中高精度测量的理想选择。可根据要求提供也可用于真空的 OEM 仪器版本。
对于大测量范围或大型物体的校准，建议使用无线电温度传感器或 LCS 精密气候测量站。
技术数据
应用领域
- 导轨、测量、显微镜和定位台上的激光干涉测量
- 高精度俯仰角和偏航角校正，用于双坐标或多坐标测量
- 测量机和机床的校准
- 差值测量（膨胀法、材料测试）
- 动态角度测量，获取角度振荡
- 根据要求扩展角度测量的测量范围
