Sinton硅锭测试仪器、Sinton多晶硅块寿命测量仪、Sinton硅锭瞬态测试、单晶或多晶硅锭或硅砖的寿命

Sinton BLS-I硅锭测试仪器/Sinton BCT-400硅锭测试仪器:优越的硅锭测试仪器

简单、精确、无接触式地测量初长成态或已加工成型硅棒或硅锭的真实体寿命。遵从SEMI标准PV-13。

BLS-I的减震收缩垫能够很好地适应不同的硅锭曲率,所以能够测量各种长成态或已加工成型的硅锭表面。

产品概述

BLS-I和BCT-400测量系统可以直接测量单晶或多晶硅锭或硅砖的寿命,而无需进行表面钝化。由于寿命测试是表征晶体生长和杂质缺陷最灵敏的技术之一,使用该系列产品,您可以在晶体长成后立刻对晶硅质量进行评估。

BLS-I设备应用灵活,能够测量各种各样的表面(150mm直径的曲面至平面)。BCT-400设备更加小巧,专为测量平面设计。BCT-400还可以集成到自动化工作站中,同时对测试软件进行相应设置就能实现无缝自动化测量。

系统功能

Minority-Carrier Lifetime vs. Carrier Density主要应用:

对寿命在1-10毫秒范围内的高纯度硅进行测定

对未经特殊表面处理的长成态B-Cz单晶硅棒进行质量检验

D04对多晶硅锭的寿命和陷阱浓度进行表征

Vinxity-Camm Dee:l Sownike fatter Ditth 0 1.E-13

1.0E+14

1.0E+15

10E-16 Minordty- Carder Density (om)其他应用:

一检测B-O缺陷、Fe污染和表面损伤

一监测Cz直拉硅、Fz区熔硅、多晶硅或UMG升级冶金硅的初始材料质量

例1:对寿命8ms的n型硅锭的一次瞬态测试

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