Sinton Instruments WCT120PL-使用光致发光传感器的硅片寿命测试仪
同时使用标准光电导( QSSPC)方法,和光致发光( QSSPL)方法,对载流子复合寿命进行校准测量。
WCT120PL硅片寿命测试工具包含了WCT120仪器独特的测量和分析技术的同时,又增加了光致发光(PL)传感器,以基于PL信号测试寿命和掺杂水平。准稳态光电导( QSSPC)寿命测试方法和瞬态光电导衰减寿命测试方法都増增补了校准的基于PL信号的寿命测试。也可以简单地将工具作为标准的WCT120使用。
主要应用
用 QSSPC或瞬态寿命测试,以及P寿命测试,对制造工艺进行逐步监控和优化。
其他应用
- 监测初始材料质量
- 在硅片加工过程中检测重金属杂质污染
- 评估表面钝化和发射极掺杂扩散
- 使用隐含Voc测试,估计加工过程引起的并联电阻
- 基于 QSSPL和 QSSPC数据迭代计算衬底掺杂
