Sinton Instruments WCT120/WcT120MX:硅片寿命的标准离线测试工具
硅片测试仪器提供了对载流子复合寿命进行校准分析的现有最佳技术。完全遵从SEMI标准PV-13
WCT120是放置在桌面上的硅片寿命测量系统,适用于器件研究和工业过程控制,价格实惠。WCT120MX适用于测试230mm的大硅片
WCT120和WCT-120MX仪器展示了我们独特的测量和分析技术,包括 Sinton Instruments公司在1994年开发的遵从SEMI标准的准稳态光电导( QSSPC)寿命测量方法
WCτ-120仪器使用 QSSPC和瞬态光电导衰减技术,可以测量10ns到10ms+范围的硅片寿命。 QSSPC技术适用于监测多晶硅片、掺杂扩散样品。瞬态光电导衰减技术适用于对高寿命样品的工艺进行逐步监控
WCT120寿命测试也会给出隐含开路电压(随光照强度变化的)曲线,相当于在电池工艺的每个阶段都能给出一条I-V曲线
主要应用:对制造工艺进行逐步监控和优化。
其他应用:
- 监测初始材料质量
- 在硅片加工过程中检测重金属杂质污染
- 评估表面钝化和发射极掺杂扩散
- 使用隐含|-Ⅴ测试,估算加工过程引起的并联电阻
