Sinton Instruments IL-800产线硅片测试是进行快速产线测试的完美工具。具有与离线工具相当的综合精度,以及专为工业生产设计的软件包,可以监控硅片少子寿命、方块电阻和陷阱浓度。
Sinton Instruments离线测试仪WT-120的校准寿命测试技术用于生产线，对工业生产线进行高级工艺监控。使用IL-800可以对硅片寿命进行单次、大面积测量，测试会平衡晶界或晶体生长条件差异的影响。测试单元带有集成光源，可以安装到硅片轨道上方或下方,使用无接触传感器对每片经过轨道的硅片进行测试。
产品概述
在关键工艺步骤测试硅片,来对生产线进行逐步监控和优化。
主要应用
- 监测原料硅片质量(寿命、方块电阻和陷阱浓度）
- 对磷扩工艺进行质量监控
- 在生产过程中,提前发现来自于水、化学品、髙温炉管或操作过程等造成的硅片污染
- 保证氮化硅镀膜工艺最佳的表面钝化效果
