德国Si-Mat Silicon Materials SOI晶圆 SOI绝缘体上硅 熔融键合型

可以提供以下SOI晶圆产品:

SOI(绝缘体上硅)

熔融键合型

SOI是指一种特殊的绝缘层场效应晶体管技术。该结构通过绝缘层(埋氧层,BOX)将薄硅层与硅衬底隔离开来。这种分层结构可提供更优异的电气绝缘性能,降低寄生电容,从而提升集成电路及其他半导体元件的性能表现。

SOI晶圆结构解析

SOI晶圆通常包含三个核心功能层:

器件层:作为SOI晶圆的最上层,由高纯度薄硅层构成,是制造半导体器件的有效功能区。该硅层厚度可根据应用需求在数纳米至数微米之间进行调整。

埋氧层:位于活性硅层下方的绝缘层,通常由二氧化硅(SiO₂)构成。该绝缘层将活性硅层与底层衬底隔离,能有效防止层间电气干扰和漏电流现象。

衬底层:SOI晶圆最底部的硅衬底,为上层薄膜提供机械支撑和结构基础。该承载衬底通常采用标准硅晶圆结构。


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