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双传感器组合：绝对真空压力 + 相对大气压力测量
精确控制系统放气过程，半导体 · 航天模拟 · 工业真空的理想之选
双传感器合二为一
真空测量 + 大气压力控制
VDM-3 在绝对压力传感器基础上，集成了一颗大气压力传感器，可测量相对于环境压力的真空信号。
这一相对大气压力测量功能，实现了真空系统放气至大气压过程的精确控制——这是 VDM-2 所不具备的关键能力。
支持表压测量与大气切换选项，让您的真空系统通风控制更加精准可靠。
绝对压力传感器
0.1 ~ 1333 mbar 真空测量
气体无关性 · 陶瓷隔膜压阻式
大气压力传感器
相对环境压力测量
精确控制放气通风过程
四大核心优势
双传感器设计，为苛刻真空环境提供更全面的测量与控制能力
双传感器组合
绝对真空压力与相对大气压力测量合为一体，单台设备实现双重功能，精确控制放气过程
卓越耐腐蚀性
氧化铝陶瓷隔膜兼容多种酸性和溶剂介质，洁净干燥设计，彻底消除油污染风险
气体无关性测量
陶瓷隔膜压阻式传感技术，测量结果不受气体种类和成分影响，适用于各类复杂环境
灵活输出与控制
模拟电压 + RS-232/RS-485 数字双接口，三路固态继电器，支持多厂商设备无缝替换
洁净干燥的陶瓷传感方案
双传感器赋能更精准的真空控制
VDM-3 陶瓷隔膜 ATM 真空传感器采用耐腐蚀氧化铝陶瓷隔膜，隔膜随施加压力成比例弯曲，核心压阻式传感元件确保精确稳定的测量。测量气体压力与气体类型无关。
除绝对压力传感器外，集成的大气压力传感器可测量环境压力并生成相对于环境压力的真空测量信号。这一功能实现了真空系统放气至大气压过程的精确控制。
与依赖充油传感元件的传统不锈钢压电真空传感器不同，VDM-3 采用洁净干燥的陶瓷压阻传感器，彻底消除真空系统油污染风险。同时，它也是传统 1000 Torr/mbar 满量程电容隔膜规(CDG)的高性价比紧凑替代方案。
为先进真空工艺而打造
从航天模拟到半导体制程，双传感器设计覆盖更多场景
双传感器大气压力控制
集成大气压力传感器，实现相对环境压力的真空测量。精确控制系统放气至大气压的过渡过程，支持表压测量与大气切换选项，是通风控制的理想方案。
超强耐腐蚀陶瓷隔膜
氧化铝陶瓷隔膜对多种溶剂、酸和化学化合物具有出色耐腐蚀性，确保恶劣环境下的长期可靠性。可选派瑞林(Parylene)涂层与防护挡板进一步提升保护。
洁净干燥无油污染
与传统不锈钢压电传感器依赖充油传感元件不同，VDM-3 陶瓷压阻传感器洁净干燥，彻底消除敏感真空系统中的油污染风险，保障工艺洁净度。
灵活模拟电压输出
高分辨率模拟电压输出，可直接连接外部显示器、数据采集系统和PLC。提供多种预设模拟输出曲线，支持无缝替换不同厂商的真空规，最大限度减少集成工作量。
固态继电器过程控制
三路独立固态开关继电器，直接控制真空泵、阀门和安全联锁电路。相比电磁继电器，开关更快、可靠性更高、无电弧无EMI干扰。通过UL、CSA及EN/IEC 60950-1认证。
CDG高性价比替代方案
作为传统1000 Torr/mbar满量程电容隔膜规(CDG)的紧凑高性价比替代品，VDM-3 在提供同等测量能力的同时，体积更小、成本更低，是系统升级和OEM集成的理想选择。
技术规格参数
精密数据，一目了然
| 参数项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 测量性能 | |
| 测量范围 | 0.1 ~ 1333 mbar（0.1 ~ 1000 Torr） |
| 测量原理 | 陶瓷隔膜压阻式 + 集成大气压力传感器 |
| 精度（100~1333 mbar） | 读数的 0.5% |
| 精度（1~99.9 mbar） | 满量程(1333 mbar)的 0.05% |
| 迟滞（0.1~10 mbar） | 1%（ISO 19685:2017） |
| 迟滞（10~1200 mbar） | 0.1%（ISO 19685:2017） |
| 模拟输出分辨率 | 16位（150 μV） |
| 模拟输出更新速率 | 560 Hz |
| 响应时间 | < 20 ms（ISO 19685:2017） |
| 温度补偿范围 | +10 ~ +50 °C |
| 固态继电器 | |
| 设定点范围 | 1 ~ 1333 mbar（0.75 ~ 1000 Torr） |
| 触点额定值 | 50 V, 100 mArms / mADC |
| 认证 | UL Recognized (File E76270) · CSA Certified (Certificate 1175739) · EN/IEC 60950-1 |
| 环境条件 | |
| 工作环境温度 | -20 ~ +50 °C |
| 介质温度 | -20 ~ +50 °C |
| 存储温度 | -40 ~ +80 °C |
| 烘烤温度（非工作） | +80 °C |
| 最大介质压力 | 2 bar 绝压（29 psia） |
| 爆破压力 | 4 bar 绝压（58 psia） |
| 安装位置 | 任意方向 |
| 防护等级 | IP40（EN 60529/A2:2013） |
| 湿度 | 98%，无凝露（IEC 68-2-38） |
| 电源 | |
| 供电电压 | 12-30 VDC |
| 功耗 | 最大 240 mW |
| 反接保护 | 是 |
| 过压保护 | 是 |
| 内部保险丝 | 100 mA（热恢复型） |
| 材料 | |
| 外壳 | SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061 |
| 真空法兰（湿件） | SS 1.4401 / AISI 316 |
| 标准版暴露材料 | 316不锈钢、Viton®、氧化铝陶瓷(Al₂O₃) |
| 派瑞林版暴露材料 | 316不锈钢、Viton®、Parylene |
| 过程泄漏率 | < 1×10⁻⁹ mbar·l/s |
| 认证 | |
| CE | EMC 指令 2014/30/EU |
| RoHS | 指令 EU 2015/863 |
应用领域
双传感器设计，覆盖从航天模拟到半导体制造的广泛真空场景
半导体制造
CVD、PVD 及前级真空测量，陶瓷耐腐蚀传感器应对苛刻制程环境
航天环境模拟
模拟太空苛刻环境下的真空气压测量，双传感器确保模拟过程精确可控
氢气储供
氢气储罐和供应管路中绝缘真空的测量与监控，保障储氢安全
PVD 镀膜
可选可维护挡板保护，延长物理气相沉积应用中的传感器使用寿命
真空热处理炉
真空热处理过程中的压力测量与控制，可选挡板与涂层保护
压缩机服务
压缩机系统的真空测量与监控，双传感器确保系统运行安全可靠
