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采用高耐腐蚀氧化铝陶瓷隔膜，气体无关性测量
半导体 · 分析仪器 · 工业真空系统的理想之选
四大核心优势
为苛刻真空环境而设计，卓越性能贯穿每一个细节
气体无关性测量
陶瓷隔膜压阻式传感技术，测量结果不受气体种类和成分影响，适用于各类复杂真空环境
卓越耐腐蚀性
氧化铝陶瓷隔膜可兼容多种酸性和溶剂介质，可选派瑞林(Parylene)涂层进一步提升防护
多种控制接口
支持模拟与数字(RS-232/RS-485)双接口，三路固态继电器输出，满足多样化过程控制需求
无缝替换升级
引脚与输出完全兼容主流厂商不锈钢压电传感器，即插即用，无需重新接线或修改软件
告别油污染风险
洁净干燥的陶瓷传感方案
VDM-2 陶瓷隔膜真空传感器采用坚固耐用的氧化铝陶瓷隔膜，隔膜随施加压力成比例弯曲，核心压阻式传感元件确保在广泛的真空应用中实现精确稳定的测量。
与依赖充油传感元件的传统不锈钢隔膜压电真空传感器不同，VDM-2 采用洁净干燥的陶瓷压阻隔膜传感器，彻底消除了敏感真空系统中油污染的风险。
VDM-2 测量气体压力与气体类型无关，是半导体制造、分析仪器、工业真空系统等领域的理想解决方案。它也是传统 1000 Torr/mbar 满量程电容隔膜规(CDG)的高性价比紧凑替代方案。
为苛刻真空环境而打造
从半导体到制药，每一个设计细节都经得起考验
超强耐腐蚀设计
氧化铝陶瓷隔膜对多种溶剂、酸和活性化合物具有出色的耐腐蚀性，确保恶劣环境下的长期可靠性。可选派瑞林涂层进一步防腐，广泛用于双氧水等离子灭菌和冷冻干燥等医疗场景。
抗过压与突发排气
氧化铝传感元件可承受高达 2 bar 绝压(29 psia)的突发排气与过压条件，爆破压力达 4 bar 绝压(58 psia)，适用于工业、制药和半导体领域的高应力真空系统。
灵活的模拟电压输出
高分辨率模拟电压输出，可直接连接外部显示器、数据采集系统、PLC或过程控制设备。提供多种预设模拟输出曲线，支持用户自定义任意线性缩放，最大程度匹配系统需求。
可靠数字通信接口
集成 RS-232 和 RS-485 数字接口，确保长距离无噪声传输。支持实时压力监控、诊断、预测性维护、校准、设定点配置等高级功能。即使模拟输出限制量程，数字输出仍提供满量程读数。
固态继电器过程控制
三路独立固态开关继电器，直接控制真空泵、阀门和安全联锁电路。相比传统电磁继电器，开关速度更快、可靠性更高、无电弧无EMI干扰。通过 UL、CSA 及 EN/IEC 60950-1 认证。
工厂定制即插即用
可根据应用需求出厂配置量程、压力单位(mbar/Torr/Pa)、设定点和输出信号缩放。每台定制产品分配唯一料号，简化后续采购，确保系统一致性，是OEM和系统集成商的理想选择。
技术规格参数
精密数据，一目了然
| 参数项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 测量性能 | |
| 测量范围 | 0.1 ~ 1333 mbar（0.1 ~ 1000 Torr） |
| 测量原理 | 陶瓷隔膜压阻式 |
| 精度（100~1333 mbar） | 读数的 0.5% |
| 精度（1~99.9 mbar） | 满量程(1333 mbar)的 0.05% |
| 迟滞（0.1~10 mbar） | 1%（ISO 19685:2017） |
| 迟滞（10~1200 mbar） | 0.1%（ISO 19685:2017） |
| 模拟输出分辨率 | 16位（150 μV） |
| 模拟输出更新速率 | 560 Hz |
| 响应时间 | < 20 ms（ISO 19685:2017） |
| 温度补偿范围 | +10 ~ +50 °C |
| 固态继电器 | |
| 设定点范围 | 1 ~ 1333 mbar（0.75 ~ 1000 Torr） |
| 触点额定值 | 50 V, 100 mArms / mADC |
| 认证 | UL Recognized (File E76270) · CSA Certified · EN/IEC 60950-1 |
| 环境条件 | |
| 工作环境温度 | -20 ~ +50 °C |
| 介质温度 | -20 ~ +50 °C |
| 存储温度 | -40 ~ +80 °C |
| 烘烤温度（非工作） | +80 °C |
| 最大介质压力 | 2 bar 绝压（29 psia） |
| 爆破压力 | 4 bar 绝压（58 psia） |
| 安装位置 | 任意方向 |
| 防护等级 | IP40（EN 60529/A2:2013） |
| 湿度 | 98%，无凝露（IEC 68-2-38） |
| 电源 | |
| 供电电压 | 12-30 VDC |
| 功耗 | 最大 240 mW |
| 反接保护 | 是 |
| 过压保护 | 是 |
| 内部保险丝 | 100 mA（热恢复型） |
| 材料 | |
| 外壳 | SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061 |
| 真空法兰（湿件） | SS 1.4401 / AISI 316 |
| 标准版暴露材料 | 316不锈钢、Viton®、氧化铝陶瓷(Al₂O₃) |
| 派瑞林版暴露材料 | 316不锈钢、Viton®、Parylene |
| 过程泄漏率 | < 1×10⁻⁹ mbar·l/s |
| 认证 | |
| CE | EMC 指令 2014/30/EU |
| RoHS | 指令 EU 2015/863 |
