丹麦Sens4 VPM-5真空传感器DN16KF法兰压力范围为 2 至 1333 mbar
VPM-5,DN16KF,RS232,标准输出,mbar,3 Rel,15P DSUB
VPM-5-10101232
法兰:DN16KF |
传感器:MEMS 皮拉尼/压电 |
传感器保护:标准 |
通讯:RS-232 |
输出:STD。 |
单位:托尔 |
设定点:3 个继电器 |
连接器:15p 高清 D-Sub |
丹麦Sens4 VPM-5真空传感器DN16KF法兰压力范围为 2 至 1333 mbar特征
- 1E-6 至 1333 mbar 宽测量范围
- MEMS 皮拉尼和压电传感器组合
- 气体独立,压力范围为 2 至 1333 mbar
- 数字、模拟和设定点控制功能
耐腐蚀性能
可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护
与气体无关的测量
精密隔膜传感器,使用范围为 2 至 1333 mbar
VPM-5 SmartPirani™ 真空传感器基于尖端技术,可提供一流的性能,并通过将热导真空计的可用真空测量范围延长 1-3 个十年来建立新的性能标准。
SmartPirani™ 基于尖端的 MEMS(微机电系统)传感器技术,结合新颖的精密数字信号处理架构和先进的创新测量算法。与精密的自动化制造和校准工艺相结合,这些元件相结合,提供了一种独特的产品,能够实现不折不扣的测量性能。
领先的真空测量技术
VPM-5 SmartPirani™ 传感器具有卓越的性能,通过将热导率真空计的可用测量范围扩大 1 至 3 个十制,为真空测量树立了新的标杆。

通过集成 MEMS 隔膜传感器,消除了热导率计粗真空范围内众所周知的气体依赖性,该传感器提供可与更昂贵的电容压力计相媲美的精密性能。该测量与气体类型和浓度无关,增强了测量的信心,并确保更准确地控制真空系统排气过程,这有助于防止真空系统过压。
针对具有挑战性的工业应用进行了优化
对于传感器可能暴露于腐蚀性或腐蚀性气体的应用,SmartPirani™ 可提供保形保护涂层,可作为有效的屏障。
SmartPirani™ 传感器系列现在可选配陶瓷或聚对二甲苯保护屏障,防止传感器材料腐蚀或氧化。陶瓷具有高度耐腐蚀性,是电容式隔膜计中真空传感器隔膜的成熟材料。聚对二甲苯是一种独特的聚合物,具有高度耐腐蚀和疏水性能。聚对二甲苯屏障专为医疗应用而设计,包括冻干和灭菌。
在某些真空过程中,微粒会损坏真空计。对于这些应用,SmartPirani™ 传感器配有保护挡板,可作为对宏观颗粒的屏障。结合保护涂层选项,新型 SmartPirani™ 传感器专为恶劣的真空环境而设计。

测量和控制先进的真空过程
VPM-5 SmartPirani™ 专为一流的真空气体压力测量和控制而设计。多种输出选项提供的不仅仅是压力测量信号。
用于工业控制系统的灵活模拟输出
模拟输出电压为外部读数或控制提供信号。VPM-5 标配 1VDC/十倍频程 mbar、Torr 或 Pascal 的电压输出信号。
此外,它还可以由用户配置或订购,预配置有大量其他模拟输出选项,可以直接更换其他供应商的仪表。


启用与外部设备的数字连接
RS-232 和 RS-485 串行接口可用于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
数字接口支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及获取实时真空压力测量值,以便在屏幕上进行可视化。

跨供应商兼容性,实现灵活集成
VPM-5 SmartPirani™ 传感器具有引脚兼容性、模拟电压压力信号仿真以及其他供应商的真空传感器和变送器的数字协议仿真功能。
这些仿真功能可以快速、无缝地升级传统线皮拉尼传感器、对流计和传统微型皮拉尼传感器,从而无需更改布线和系统设备软件即可过渡到下一代真空传感器。
VPM-5 SmartPirani™ 在取代传统真空计和传感器时,将在许多应用中降低成本并增强测量性能。
其他供应商仿真还提供与其他供应商的控制器和显示单元的兼容性。
通过电源电压线连接数字
传统上,其他供应商配备 FCC68/RJ45/8P8C 和 Hirschmann 连接器的传感器不提供数字通信。新颖的 S4-Connect 接口可通过电源线上的数字通信访问 VPM-5 传感器的数字内核。
S4-Connect USB 通讯器可以轻松配置传感器设置、诊断和校准调整。

可定制参数以满足应用需求
VPM-5 传感器可提供定制配置,以满足特定的应用要求,并开箱即用地适用于特定设备安装。预配置选项的示例包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号缩放。
定制产品将被分配一个唯一的部件号,以便将来轻松直接地重新订购。

半导体
半导体应用中的 CVD、PVD 和前线真空测量。提供陶瓷耐腐蚀传感器。
行业应用和市场焦点
VPM-5 SmartPirani™ 专为先进真空过程的可靠测量和控制而设计,适用于工业和科学领域的广泛应用。VPM-5 配置多种选择,可满足各种应用的不同要求。