0.1 至 1333 mbar 测量范围

使用陶瓷隔膜传感器进行与气体无关的测量

控制真空系统通风

表压测量和大气切换选项

VDM-3 陶瓷膜片 ATM 真空传感器具有耐腐蚀的氧化铝膜片，可响应施加的压力而弯曲。核心压力传感器元件采用压阻测量技术。该隔膜传感器测量真空气体压力，与气体类型或成分无关。

除了绝对压力传感器外，集成气压传感器还测量环境压力并生成相对于环境压力的真空测量信号。这种相对于大气压的测量可以精确控制真空系统排气至大气水平期间的压力。

与通常使用充油传感器元件的不锈钢压电真空传感器相比，VDM-3 陶瓷压电传感器元件清洁干燥，消除了污染真空系统的风险。