丹麦 Sens4 VDM-7 DiCAP™大气压膜隔膜换能器
双光膜传感器
5.0E-3至1333 mbar测量范围，可独立于气体类型进行测量
耐腐蚀性
可选的陶瓷或二烯传感器保护
数字与模拟接口
灵活集成数字接口、模拟输出和设定点继电器
大气切换
相对于大气压的测量可以精确控制排气循环。
VDM-7 DiCAP™ ATM 换能器双传感器设计树立了新标准，并通过提供从5.0E-3到1333毫巴的经济实惠、气体无关测量范围而区别于其他真空计。此外，它还提供了相对于环境压力的额外测量，实现了真空系统排气的精确控制。
在气体成分或类型可能变化的真空应用中，传统的气体依赖型Pirani计常常会产生与实际压力较大的测量偏差。VDM-7换能器采用精密电容隔膜计（CDG）传感器，消除气体依赖性，即使在气体性质变化时也能提供准确测量。
支持在高要求应用中的应用
对于涉及腐蚀性或侵袭性气体的应用，DiCAP™配备了贴合保护涂层，作为有效的屏障。
VDM-7 DiCAP™换能器系列提供可选的陶瓷或二烯保护层，以保护传感器材料免受腐蚀或氧化。
陶瓷具有卓越的耐腐蚀性，是电容隔膜真空传感器振膜的可靠材料。
莧是一种独特的聚合物，具有卓越的耐腐蚀性和疏水性，特别适合用于如冻干和过氧化氢灭菌等医疗应用。
对于颗粒可能威胁到真空工艺，DiCAP™换能器配备保护挡板以阻挡宏观颗粒。结合保护涂层选项，这些换能器设计以在具有挑战性的真空环境中高效运行。
其他供应商兼容性
VDM-7 DiCAP™ ATM 换能器提供引脚兼容性、模拟电压压力信号仿真以及其他厂商的真空换能器和发射机的数字协议仿真。
这些仿真功能使传统微型Pirani换能器能够快速无缝地升级性能，实现在不更换布线和系统设备软件的情况下，顺利过渡到下一代真空换能器。
VDM-7 DiCAP™ ATM在替换传统真空计和换能器时，将在许多应用中提供更强的测量性能。
其他厂商的仿真还支持与其他厂商的控制器和显示单元的兼容性。
应用与市场
VDM-7 DiCAP™ ATM设计用于先进真空工艺的可靠测量与控制，适用于工业和科学领域的广泛应用。VDM-7 提供了多种配置，以满足不同应用中的不同需求。
蒸馏
氢气储罐和供应管线绝缘真空的测量与监测。
血浆灭菌
利用双传感器设计，采用一体化测量解决方案，应用于H2O2灭菌应用。
空间模拟
在模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。
PVD涂层
VDM-5 配备可维修挡板保护，使其在物理气相沉积（PVD）涂层应用中能够使用并延长使用寿命。
炉
测量和控制真空热处理中的真空。工业应用可选的挡板和涂层保护。
参数规格 | |
| Measuring range in mbar | 5E-3 to 1333 mbar (3.75E-3 to 1000 Torr) |
| Measuring principle 5E-3 to 3.99 mbar | Capacitance Diaphragm Gauge (CDG) |
| Measuring principle 4 to 5.99 mbar | Blended CDG / Piezo Diaphragm |
| Measuring principle 6 to 1333 mbar | Piezo Diaphragm |
| Accuracy 5E-3 to 9.99E-3 mbar | 5% of reading |
| Accuracy 1E-2 to 799 mbar | 0.5% of reading |
| Accuracy 800 to 1099 mbar | 0.25% of reading |
| Accuracy 1100 to 1333 mbar | 0.5% reading |
| Hysteresis 1E-3 to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
| Hysteresis 10 to 1333 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
| Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
| Analog output update rate | 124 Hz |
| Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
| Temperature compensation | +10 to +50 °C |
| Solid state relay set point range | 5E-6 to 1333 mbar (3.75E-6 to 1000 Torr) |
| Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
| Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
| Environment conditions | |
| Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
| Media temperature | -20 to +50 °C |
| Storage ambient temperature | -20 to +80 °C |
| Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
| Maximum media pressure(3) | 4 bar absolute |
| Mounting position | Arbitrary (4) |
| Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
| Power supply | |
| Supply voltage | 12-30 VDC |
| Power consumption | 350 mW (max) |
| Reverse polarity protection | Yes |
| Overvoltage protection | Yes |
| Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
| Materials | |
| Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
| Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Kovar, glass, silicon, , AI2O3, gold, Viton®, low out-gassing epoxy resin, solder, RO4305, vitreous silica |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton®, Parylene |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Ceramic protected version | 316 Stainless steel, Viton®, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
| Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
| Approvals | |
| CE | EMC directive 2014/30/EU |
| RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |
(1) Accuracy specifications are typical values at stable temperature after zero adjustment.
(2) Viton® is a trademark of THE CHEMOURS COMPANY FC, LLC
(3) Overpressure limits only applicable with using fittings rated to the specified
(4) After change of orientation zero adjustment may be required
Specifications are subject to change without further notice
