丹麦 Sens4 VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM 换能器设计用于半导体负载锁定精密压力控制及其他真空应用，这些应用需要与大气环境压力的准确测量。
它提供同级最佳性能，测量范围更广，精度更高，测量周期更快，优于传统负载锁定传感器和其他负载锁定传感器解决方案。
SmartPirani™ ATM通过将热导率Pirani热损失真空计的可用测量范围延长了1至3个十年，建立了新的标准。
VPM-7-10101232
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-232 Interface
- Std. Analog Output
- mbar
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. HD D-sub
VPM-7-10201232
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-485 Interface
- Std. Analog Output
- mbar
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. HD D-sub
VPM-7-10102132
- DN16KF Flange
- Standard Sensors
- RS-232 Interface
- Std. Analog Output
- torr
- 3 Setpoint Relays
- 15 pin. HD D-sub
耐腐蚀传感器
通常，负载锁装置干净且无腐蚀性气体。然而，可选的耐腐蚀传感器使VPM-7 SmartPirani™反坦克导弹能够在含有强性化学品或残留蚀刻气体的应用中使用。
陶瓷是一种高度耐腐蚀的材料，常用于电容隔膜真空传感器的隔膜。
二烯是一种独特的聚合物，以其强强的耐腐蚀性和疏水特性而闻名。
自定义设置
VPM-7 SmartPirani™ ATM 换能器可根据特定应用需求进行定制，使其能够立即在特定设备配置中使用。预配置选项包括测量范围、真空压力单元、设定点配置和输出信号缩放。
定制单元会被分配独特的零件编号，方便未来重新订购。
应用与市场
VPM-7 SmartPirani™ ATM设计用于先进的真空过程的可靠测量与控制，适用于负载锁系统的压力控制。VPM-7 提供了多种配置选择，以满足不同行业和应用的不同需求。
半导体
VPM-7实现了负载锁系统压力的精确控制。其他厂商遗留的负载锁传感器的可直接替换配置。
PVD涂层
VPM-7配备可维修挡板保护，使PVD涂层应用中更为耐用。准确控制真空系统的排气。
质谱仪
利用VPM-7在质谱仪仪器中提供的低压测量能力。
空间模拟
在模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。
电子显微镜
结合真空测量和相对于环境压力的测量，配合VPM-7 SmartPirani ATM。
炉
测量和控制真空热处理中的真空。工业应用可选的挡板和涂层保护。
规格 | |
| 测量范围以mbar为单位 | 1×10-6至1333毫巴尔（7.5×10-7至1000托） |
| 测量原理：1×10-6至1.5毫巴 | MEMS Pirani热导率 |
| 测量原理：1.5至2毫巴 | 混合MEMS Pirani / 压电读取 |
| 测量原理 2 至 1333 毫巴 | MEMS压电阻隔膜 |
| 命中率 1×10-5 至 9.99×10-5 | 阅读量的25% |
| 精度：1×10-4至7.99毫巴 | 阅读量的5% |
| 精度：8.00至99.9毫巴 | 占阅读量的1% |
| 精度：100到800毫巴 | 阅读量占0.5% |
| 精度：800至1099毫巴 | 占阅读量的0.25% |
| 精度：1100至1333毫巴 | 0.5% 读数 |
| 滞后 1×10-3 至 10 mbar（2017 ISO19685：2017） | 1% |
| 迟滞10至1333毫巴（ISO19685：2017） | 0.1% |
| 模拟输出分辨率 | 16位（150微伏） |
| 模拟输出更新速率 | 124 Hz |
| 响应时间（ISO 19685：2017） | <20毫秒 |
| 温度补偿 | +10至+50°C |
| 固态继电器设定点范围 | 5×10-6至1333毫巴尔（3.75×10-6至1000托） |
| 固态继电器接触额定 | 50 V，100 mArms / mADC |
| 固态继电器认证 | UL认证：文件E76270 CSA认证：证书1175739 EN/IEC 60950-1 认证 |
| 环境条件 | |
| 工作环境温度 | -20至+50摄氏度 |
| 介质温度 | -20至+50摄氏度 |
| 储存环境温度 | -40至+120°C |
| 烘烤温度（非工作状态） | +120°C |
| 最大介质压力（3） | 绝对10巴 |
| 安装位置 | 任意 |
| 防护等级，EN 60529/A2：2013 | IP40 |
| 湿度，IEC 68-2-38 | 98%，非凝结 |
| 电源 | |
| 供电电压 | 12-30 VDC |
| 功耗 | 最大功率240毫瓦 |
| 反极性保护 | 是的 |
| 过压保护 | 是的 |
| 内部保险丝 | 100 mA（热可回收） |
| 材料 | |
| 外壳 | SS 1.4307 / AISI 304L / 铝制6061 |
| 真空工艺法兰（介质湿润） | SS 1.4401 / AISI 316 |
| 真空暴露材料（介质湿润）标准版本 | 316 不锈钢、Kovar、玻璃、硅、镍、铝、SiO2、Si3N4、黄金、Viton®、低释气环氧树脂、焊锡、RO4305 |
| 真空暴露材料（介质湿润）保护的二烯保护版本 | 316不锈钢，Viton，Parylene® |
| 真空暴露材料（介质湿润）陶瓷保护版本 | 316不锈钢，维生素®氧化铝陶瓷（AI2O3） |
| 工艺泄漏紧密性 | <1.10-9 mbar·l/s |
| 可靠性 | |
| MTBF（平均故障间隔时间） | 13.092.170小时 |
| 失效率FIT（时间失效，时间=10E+9小时） | 76,38 |
| 批准 | |
| CE | EMC 指令 2014/30/EU |
| RoHS合规性 | 欧盟指令2015/863 |
（1）精度规格为零调整后稳定温度下的典型值。
（2） Viton® 是 THE CHEMOURS COMPANY FC， LLC 的商标
（3） 仅适用于使用符合规定额定的接头时的超压限制
规格可能会随时更改，暂时不另行通知
