VPM-5 SmartPirani™真空换能器基于尖端技术，提供同级最佳性能，并通过将热导率真空计的可用真空测量范围延长1至30年，确立了新的性能标准。
SmartPirani™基于尖端的微机电系统（MEMS）传感器技术，结合了新颖的精密数字信号处理架构和先进的创新测量算法。结合精密自动化制造和校准工艺，这些元素结合，打造出能够实现不妥协测量性能的独特产品。
规格 | |
| 测量范围以mbar为单位 | 1×10-6至1333毫巴尔（7.5×10-7至1000托） |
| 测量原理：1×10-6至1.5毫巴 | MEMS Pirani热导率 |
| 测量原理：1.5至2毫巴 | 混合MEMS Pirani / 压电读取 |
| 测量原理 2 至 1333 毫巴 | MEMS压电阻隔膜 |
| 命中率 1×10-5 至 9.99×10-5 | 阅读量的25% |
| 精度：1×10-4至7.99毫巴 | 阅读量的5% |
| 精度：8.00至99.9毫巴 | 占阅读量的1% |
| 精度：100到800毫巴 | 阅读量占0.5% |
| 精度：800至1099毫巴 | 占阅读量的0.25% |
| 精度：1100至1333毫巴 | 0.5% 读数 |
| 滞后 1×10-3 至 10 mbar（2017 ISO19685：2017） | 1% |
| 迟滞10至1333毫巴（ISO19685：2017） | 0.1% |
| 模拟输出分辨率 | 16位（150微伏） |
| 模拟输出更新速率 | 124 Hz |
| 响应时间（ISO 19685：2017） | <20毫秒 |
| 温度补偿 | +10至+50°C |
| 固态继电器设定点范围 | 5×10-6至1333毫巴尔（3.75×10-6至1000托） |
| 固态继电器接触额定 | 50 V，100 mArms / mADC |
| 固态继电器认证 | UL认证：文件E76270 CSA认证：证书1175739 EN/IEC 60950-1 认证 |
| 环境条件 | |
| 工作环境温度 | -20至+50摄氏度 |
| 介质温度 | -20至+50摄氏度 |
| 储存环境温度 | -40至+120°C |
| 烘烤温度（非工作状态） | +120°C |
| 最大介质压力（3） | 绝对10巴 |
| 安装位置 | 任意 |
| 防护等级，EN 60529/A2：2013 | IP40 |
| 湿度，IEC 68-2-38 | 98%，非凝结 |
| 电源 | |
| 供电电压 | 12-30 VDC |
| 功耗 | 最大功率240毫瓦 |
| 反极性保护 | 是的 |
| 过压保护 | 是的 |
| 内部保险丝 | 100 mA（热可回收） |
| 材料 | |
| 外壳 | SS 1.4307 / AISI 304L / 铝制6061 |
| 真空工艺法兰（介质湿润） | SS 1.4401 / AISI 316 |
| 真空暴露材料（介质湿润）标准版本 | 316 不锈钢、Kovar、玻璃、硅、镍、铝、SiO2、Si3N4、黄金、Viton®、低释气环氧树脂、焊锡、RO4305 |
| 真空暴露材料（介质湿润）保护的二烯保护版本 | 316不锈钢，Viton，Parylene® |
| 真空暴露材料（介质湿润）陶瓷保护版本 | 316不锈钢，维生素®氧化铝陶瓷（AI2O3） |
| 工艺泄漏紧密性 | <1.10-9 mbar·l/s |
| 可靠性 | |
| MTBF（平均故障间隔时间） | 13.092.170小时 |
| 失效率FIT（时间失效，时间=10E+9小时） | 76,38 |
| 批准 | |
| CE | EMC 指令 2014/30/EU |
| RoHS合规性 | 欧盟指令2015/863 |
（1）精度规格为零调整后稳定温度下的典型值。
（2） Viton® 是 THE CHEMOURS COMPANY FC， LLC 的商标
（3） 仅适用于使用符合规定额定的接头时的超压限制
规格可能会随时更改，暂时不另行通知
