丹麦 Sens4 VDM-5 DiCAP™隔膜换能器
VDM-5 DiCAP™换能器以一体化测量解决方案为多种真空应用树立了新标准。它以提供从5.0E-3到1333mbar的经济实惠、气体无关的测量范围而区别于其他真空计。
在气体成分或气体类型可能变化的真空应用中，传统的气体依赖Pirani计常常会产生与实际压力的测量偏差。VDM-5换能器采用精密电容隔膜计（CDG）传感器，消除气体依赖，即使在气体性质变化时也能实现准确测量。
双光膜传感器
5.0E-3至1333mbar测量范围，可独立于气体类型进行测量
耐腐蚀性
可选的陶瓷或二烯传感器保护
数字与模拟接口
灵活集成数字接口、模拟输出和设定点继电器
成本效益
将两个电容光阑计的功能整合到一个换能器解决方案中
支持在高要求应用中的应用
对于涉及腐蚀性或侵袭性气体的应用，DiCAP™配备了贴合保护涂层，作为有效的屏障。
VDM-5 DiCAP™换能器系列提供可选的陶瓷或二烯保护层，以保护传感器材料免受腐蚀或氧化。
陶瓷具有卓越的耐腐蚀性，是电容隔膜真空传感器振膜的可靠材料。
莧是一种独特的聚合物，具有卓越的耐腐蚀性和疏水性，特别适合用于如冻干和过氧化氢灭菌等医疗应用。
对于颗粒可能威胁到真空工艺，DiCAP™换能器配备保护挡板以阻挡宏观颗粒。结合保护涂层选项，这些换能器设计以在具有挑战性的真空环境中高效运行。
其他供应商兼容性
VDM-5 DiCAP™换能器支持引脚兼容性、模拟电压压力信号仿真，以及其他厂商的真空换能器和发射机的数字协议仿真。
这些仿真功能使传统微型Pirani换能器能够快速无缝地升级性能，实现在不更换布线和系统设备软件的情况下，顺利过渡到下一代真空换能器。
VDM-5 DiCAP™在替换传统真空计和换能器时，将在许多应用中提供更强的测量性能。
其他厂商的仿真还支持与其他厂商的控制器和显示单元的兼容性。
应用与市场
VDM-5 DiCAP™设计用于先进的真空过程的可靠测量与控制，适用于工业和科学领域的广泛应用。VDM-5 提供了多种配置选择，以满足不同应用中的不同需求。
蒸馏
氢气储罐和供应管线绝缘真空的测量与监测。
半导体
CVD、PVD和半导体应用中的前线真空测量。现有陶瓷防腐蚀传感器。
血浆灭菌
利用双传感器设计，采用一体化测量解决方案，应用于H2O2灭菌应用。
空间模拟
在模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。
PVD涂层
VDM-5 配备可维修挡板保护，使其在物理气相沉积（PVD）涂层应用中能够使用并延长使用寿命。
炉
测量和控制真空热处理中的真空。工业应用可选的挡板和涂层保护。
规格 | |
| 测量范围以mbar为单位 | 5E-3至1333mbar（3.75E-3至1000torr） |
| 测量原理5E-3至3.99mbar | 电容振膜规（CDG） |
| 测量原理 4至5.99mbar | 混合CDG / 压电隔膜 |
| 测量原理 6 至 1333 mbar | 压电隔膜 |
| 精度：1E-2至799mbar | 阅读量占0.5% |
| 精度：800至1099mbar | 占阅读量的0.25% |
| 精度：1100至1333mbar | 0.5% 读数 |
| 迟滞 1E-3 至 10 mbar（ISO19685：2017） | 1% |
| 迟滞10至1333mbar（ISO19685：2017） | 0.1% |
| 模拟输出分辨率 | 16位（150 μV） |
| 模拟输出更新速率 | 124 Hz |
| 响应时间（ISO 19685：2017） | <20 ms |
| 温度补偿 | +10至+50°C |
| 固态继电器设定点范围 | 5E-6至1333毫巴（3.75E-6至1000托） |
| 固态继电器接触额定 | 50 V，100 mArms / mADC |
| 固态继电器认证 | UL认证：文件E76270 CSA认证：证书1175739 EN/IEC 60950-1 认证 |
| 环境条件 | |
| 工作环境温度 | -20至+50°C |
| 介质温度 | -20至+50°C |
| 储存环境温度 | -20至+80°C |
| 烘烤温度（非工作状态） | +80°C |
| 最大介质压力（3） | 4小节绝对音 |
| 安装位置 | 任意（4） |
| 防护等级，EN 60529/A2：2013 | IP40 |
| 湿度，IEC 68-2-38 | 98%，非凝结 |
| 电源 | |
| 供电电压 | 12-30 VDC |
| 功耗 | 最大功率350 mW |
| 反极性保护 | 是的 |
| 过压保护 | 是的 |
| 内部保险丝 | 100 mA（热可回收） |
| 材料 | |
| 外壳 | SS 1.4307 / AISI 304L / 铝制6061 |
| 真空工艺法兰（介质湿润） | SS 1.4401 / AISI 316 |
| 真空暴露材料（介质湿润）标准版本 | 316不锈钢、Kovar、玻璃、硅、AI2O3、黄金、Viton®、低释气环氧树脂、焊锡、RO4305、玻璃二氧化硅 |
| 真空暴露材料（介质湿润）保护的二烯保护版本 | 316不锈钢，Viton，Parylene® |
| 真空暴露材料（介质湿润）陶瓷保护版本 | 316不锈钢，维生素®氧化铝陶瓷（AI2O3） |
| 工艺泄漏紧密性 | <1.10-9 mbar·l/s |
| 批准 | |
| CE | EMC 指令 2014/30/EU |
| RoHS合规性 | 欧盟指令2015/863 |
（1）精度规格为零调整后稳定温度下的典型值。
（2） Viton® 是 THE CHEMOURS COMPANY FC， LLC 的商标
（3） 仅适用于使用符合规定额定的接头时的超压限制
（4） 方向变换后可能需要零点调整
规格可能会随时更改，暂时不另行通知
