VDM-3陶瓷振膜ATM真空换能器采用耐腐蚀铝氧化物隔膜，能根据施加压力弯曲。核心压力传感器元件采用压阻测量技术。该光阑传感器可独立测量真空气体压力，不受气体类型或成分影响。
除了绝对压力传感器外，集成气压传感器还测量环境压力，并生成相对于环境压力的真空测量信号。这种相对于大气压的测量，使得真空系统排气到大气水平时能够精确控制压力。
与通常使用充油传感器元件的不锈钢压电真空传感器相比，VDM-3陶瓷压电传感器元件干净干燥，消除了污染真空系统的风险。
电容隔膜计的替代方案
电容隔膜计被广泛应用于许多真空应用中，用于先进工艺的测量和控制。VDM-3换能器是传统1000 Torr/mbar 全尺寸电容隔膜计（CDGs）的经济且紧凑的替代方案。
对于需要独立大气开关的应用，VDM-3 可以将真空测量和大气开关功能整合到一个设备中
为恶劣环境设计
VDM-3适用于含有腐蚀性气体和化学化合物的严苛真空应用。陶瓷氧化铝隔膜对多种溶剂和酸具有优异的耐腐蚀性能。
VDM-3换能器还可选配配二烯保护屏障，以防止传感器材料腐蚀或氧化。蒚是一种独特的聚合物，具有高度耐腐蚀性和疏水特性，专门设计用于医疗设备如冻干和过氧化氢等离子灭菌等医疗应用。
在存在宏观颗粒的真空系统和工艺中，可选的保护挡板作为防止污染物沉积在传感器振膜上的有效屏障。
氧化铝传感器元件设计坚固，能够承受瞬间通风和高达2bar绝对压力（29 psia）的过压。
测量与控制先进真空工艺
VDM-3换能器具有优异的性价比，可用于监视和在许多工业和科学应用中测量前线真空压力。
VDM-3 兼容模拟和数字输出，为多种真空控制应用提供了灵活性和精度。
模拟电压输出
模拟输出为外部压力读数或控制提供电压信号。
VDM-3换能器提供多种预配置的模拟输出曲线，实现无缝替换各厂商的规格。
此外，用户可以配置输出以实现任意线性缩放。
Connect Digital
RS-232和RS-485串行接口便于测量数据传输，且在延长电缆长度上无信号衰减或电气噪声干扰。
数字接口支持诊断、预测性维护、维护、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时真空压力测量的获取，用于屏幕可视化。
当模拟输出设置为较小的测量范围，如100 Torr 全刻度时，数字输出独立提供最高1333mbar（1000托）的全范围测量。
其他供应商兼容性
可直接更换的真空换能器设计支持连接器引脚输出，实现无缝更换其他厂商规格而无需更换线缆。
此外，这些换能器还能模拟模拟输出的缩放率及其他厂商同类产品的范围。
此外，Sens4换能器具备模拟数字串行通信协议的能力，便于安装，无需调整真空设备的通信软件。这种数字协议仿真确保了与不同厂商电源和控制器显示单元的兼容性。
自定义设置
VDM-3换能器可根据特定应用需求提供定制配置，开箱即用。预配置选项示例包括测量范围、真空压力单元、设定点配置和输出信号缩放。
定制产品将被分配独特的零件编号，方便未来重新订购。
应用与市场
VDM-3换能器设计用于先进的真空过程的可靠测量与控制，适用于工业和科学领域的广泛应用。VDM-3换能器种类繁多，以满足不同应用的不同需求。
Specifications | |
| Measuring range in mbar | 0.1 to 1333 mbar (0.1 to 1000 Torr) |
| Measuring principle | Ceramic diaphragm piezo resistive |
| Accuracy 100 to 1333 mbar | 0.5% of reading |
| Accuracy 1 to 99.9 mbar | 0.05% of full scale (1333 mbar) |
| Hysteresis 0.1 to 10 mbar (ISO19685:2017) | 1% |
| Hysteresis 10 to 1200 mbar (ISO19685:2017) | 0.1% |
| Analog output resolution | 16 bit (150 μV) |
| Analog output update rate | 560 Hz |
| Response time (ISO 19685:2017) | <20 ms |
| Temperature compensation | +10 to +50 °C |
| Solid state relay set point range | 1 to 1333 mbar (0.75 to 1000 Torr) |
| Solid state relay contact rating | 50 V, 100 mArms / mADC |
| Solid state relay approvals | UL Recognized: File E76270 CSA Certified: Certificate 1175739 EN/IEC 60950-1 Certified |
| Environment conditions | |
| Operating ambient temperature | -20 to +50 °C |
| Media temperature | -20 to +50 °C |
| Storage ambient temperature | -40 to +80 °C |
| Bake-out temperature (non-operating) | +80 °C |
| Maximum media pressure(3) | 2 bar absolute (29 psia) |
| Burst pressure(4) | 4 bar absolute (58 psia) |
| Mounting position | Arbitrary |
| Protection rating, EN 60529/A2:2013 | IP40 |
| Humidity, IEC 68-2-38 | 98%, non-condensing |
| Power supply | |
| Supply voltage | 12-30 VDC |
| Power consumption | 240 mW (max) |
| Reverse polarity protection | Yes |
| Overvoltage protection | Yes |
| Internal fuse | 100 mA (thermal recoverable) |
| Materials | |
| Enclosure | SS 1.4307 / AISI 304L / Aluminum 6061 |
| Vacuum Process flange (media wetted) | SS 1.4401 / AISI 316 |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Standard version | 316 Stainless steel, Viton®, Aluminum oxide ceramic (AI2O3) |
| Vacuum exposed materials (media wetted) Parylene protected version | 316 Stainless steel, Viton®, Parylene |
| Process leak tightness | <1·10-9 mbar·l/s |
| Approvals | |
| CE | EMC directive 2014/30/EU |
| RoHS compliance | Directive EU 2015/863 |
（1）精度规格为零调整后稳定温度下的典型值。
（2） Viton® 是 THE CHEMOURS COMPANY FC， LLC 的商标
（3） 仅适用于使用符合规定额定的接头时的超压限制
（4） 爆裂压力是指传感器膜片未破裂的最大压力
规格可能会随时更改，暂时不另行通知
