丹麦 Sens4 A/S VDM-2 陶瓷振膜变送器 换能器 真空测量 真空换能器
真空测量产品
为您的应用找到理想的真空变送器
无论您需要用于工业工艺、科研实验室，还是专用高科技应用的高精度真空变送器，我们的筛选工具都能帮助您根据真空变送器类型、压力范围和接口选择最佳方案。
从全面的数字真空计、真空传感器到真空控制器中挑选，满足您的具体要求——包括连接类型、输出信号及精度需求。Sens4 提供可靠耐用的真空测量解决方案，专为在严苛环境下稳定运行而设计。
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VDM-2 陶瓷振膜真空变送器采用坚固且耐腐蚀的氧化铝振膜，可根据施加的压力比例发生变形，从而实现高精度的真空压力测量。其核心压阻式传感元件可在广泛的真空应用中提供准确且稳定的测量。
与依赖充油传感元件的传统不锈钢振膜压电真空变送器不同，VDM-2 采用干式陶瓷压电振膜传感器，完全消除了油污染敏感真空系统的风险。
VDM-2 设计灵活，可独立测量各种气体的压力，而不受气体类型或成分影响，因此非常适用于半导体工艺、分析仪器、工业真空系统等应用场景。
电容式振膜计的替代方案
电容式振膜计（Capacitance Diaphragm Gauges，CDG）在许多真空应用中用于高级工艺的测量和控制。VDM-2 变送器是一种性价比高且紧凑的替代方案，可替代传统满量程 1000 Torr/mbar 的 CDG。
VDM-2 测量范围采用陶瓷振膜
专为恶劣真空环境设计
VDM-2 真空变送器专为在腐蚀性气体、强酸化学品或恶劣工艺条件下的严苛真空应用而设计。其陶瓷氧化铝振膜对各种溶剂、酸及反应性化合物具有出色的耐腐蚀性，确保在挑战性环境中长期可靠运行。
为了提供更高的保护，VDM-2 可选配 Parylene 涂层——一种耐腐蚀且疏水的高分子屏障。Parylene 广泛应用于医疗领域，包括过氧化氢等离子体灭菌和冷冻干燥工艺中，在这些应用中耐久性和抗污染性至关重要。
在容易产生颗粒污染的真空工艺中，可选的保护挡板可防止颗粒沉积在传感器振膜上，从而保证测量精度和传感器寿命。
VDM-2 的氧化铝传感元件结构坚固，可承受高达 2 bar 绝对压力（29 psia）的突发排气和超压条件，非常适合工业、制药和半导体环境中高应力的真空系统。
用于压力显示与控制的灵活模拟电压输出
VDM-2 真空变送器配备高分辨率模拟电压输出，可直接连接至外部显示器、数据采集系统、PLC 或工艺控制设备，实现实时真空压力监测。
VDM-2 与多种系统兼容，提供多种预设模拟输出曲线，可无缝替代不同厂商的真空计，最大程度减少安装调试时间和集成工作量。
对于定制应用，模拟输出还可由用户自行配置任意线性比例，实现最大灵活性，以满足特定系统需求或控制策略。
带 RS-232 和 RS-485 的数字接口，实现可靠的真空数据传输
VDM-2 真空变送器集成了 RS-232 和 RS-485 数字接口，可在长电缆距离上传输真空测量数据，确保可靠、无噪声传输，避免信号衰减或电干扰。
该数字通信接口支持高级功能，包括实时压力监测、故障诊断、预测性维护、校准、服务状态监控、设定点配置以及模拟输出比例调整。这些功能提升了系统控制能力，并简化了现代真空系统的集成。
即使模拟输出配置为有限量程（如 100 Torr 满量程），数字输出仍能提供高达 1333 mbar（1000 Torr）的全量程精确真空压力读数，为监测与控制提供最大灵活性。
可靠的固态继电器，实现先进真空系统控制
VDM-2 真空变送器配备三个独立的固态开关继电器，可直接控制外部设备，如真空泵、阀门和安全联锁电路。这些集成输出可在苛刻的真空控制应用中实现无缝自动化和实时系统响应。
与传统机电继电器相比，固态继电器具有更快的开关速度、更高的可靠性和无电弧操作，同时消除了开关过程中的电磁干扰（EMI），非常适合精密和对噪声敏感的环境。
VDM-2 的继电器结构坚固，获得 UL 列名认证、CSA 认可，并符合 EN/IEC 60950-1 标准，确保在关键真空工艺和高循环工业应用中的长期性能和安全性。
兼容其他厂商仪表——即插即用的真空变送器替代品
Sens4 的即插即用替代真空变送器专为与其他厂商仪表完全兼容而设计，接口针脚兼容，可实现无须重新布线的无缝安装。
这些高性能变送器可模拟主流厂商相应真空计型号的模拟输出比例和测量范围，确保系统间的测量性能准确且一致。
此外，Sens4 真空变送器还支持数字协议仿真，可与现有真空控制器、电源和显示单元即插即用，无需更改通信软件。这使其成为需要互操作性的真空系统升级、更换或 OEM 集成的理想选择。
定制化真空变送器设置——针对您的应用量身打造
VDM-2 真空变送器可在出厂时根据您的特定应用需求进行配置，确保开箱即可实现最佳性能和无缝集成。可定制的选项包括：
- 测量范围
- 真空压力单位（如 mbar、Torr、Pa）
- 设定点配置
- 输出信号比例
这些预配置的变送器非常适合 OEM 和系统集成商，支持即插即用安装，最大限度减少设置时间。
每台定制的 VDM-2 都会分配唯一零件号，简化未来的重复订购，并确保真空系统间的一致性。
应用与市场
VDM-2 陶瓷振膜真空变送器专为高精度真空测量和控制设计，适用于苛刻的工业和科研环境。其长期稳定性和可靠性使其能够支持多个行业的各种真空应用。
典型应用包括：
- 半导体制造
- 实验室研究与仪器
- 工业真空系统
- 分析及工艺设备
- 泄漏检测与质量控制
为了满足不同的性能和集成需求，VDM-2 提供广泛的配置选项，使您能够轻松找到适合特定工艺需求的解决方案。
规格参数
测量范围
- 0.1 至 1333 mbar（0.1 至 1000 Torr）
测量原理
- 陶瓷振膜压阻式
精度
- 100 至 1333 mbar：读数的 0.5%
- 1 至 99.9 mbar：满量程（1333 mbar）的 0.05%
滞后
- 0.1 至 10 mbar (ISO19685:2017)：1%
- 10 至 1200 mbar (ISO19685:2017)：0.1%
模拟输出分辨率
- 16 位（150 μV）
模拟输出更新率
- 560 Hz
响应时间 (ISO 19685:2017)
- <20 ms
温度补偿
- +10 至 +50 °C
固态继电器设定点范围
- 1 至 1333 mbar（0.75 至 1000 Torr）
固态继电器接点额定值
- 50 V, 100 mArms / mADC
固态继电器认证
- UL 认可：File E76270
- CSA 认证：Certificate 1175739
- EN/IEC 60950-1 认证
环境条件
- 工作环境温度：-20 至 +50 °C
- 介质温度：-20 至 +50 °C
- 存储环境温度：-40 至 +80 °C
- 烘烤温度（非工作状态）：+80 °C
- 最大介质压力：2 bar 绝对压（29 psia）
- 爆破压力：4 bar 绝对压（58 psia）
- 安装位置：任意
- 防护等级 (EN 60529/A2:2013)：IP40
- 湿度 (IEC 68-2-38)：98%，非凝结
电源
- 电源电压：12-30 VDC
- 最大功耗：240 mW
- 反极性保护：有
- 过压保护：有
- 内置保险丝：100 mA（可热复位）
材料
- 外壳：SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061
- 真空工艺法兰（介质接触）：SS 1.4401 / AISI 316
- 真空暴露材料（标准版，介质接触）：316 不锈钢、Viton®、氧化铝陶瓷 (Al2O3)
- 真空暴露材料（Parylene 保护版，介质接触）：316 不锈钢、Viton®、Parylene
- 工艺泄漏率：<1·10⁻⁹ mbar·l/s
认证
- CE
- EMC 指令 2014/30/EU
- RoHS 合规，指令 EU 2015/863
备注
- 精度规格为典型值，在稳定温度下零点调整后测得。
- Viton® 为 THE CHEMOURS COMPANY FC, LLC 的商标。
- 超压限制仅适用于使用额定配件时。
- 爆破压力为传感器振膜未破裂时的最大压力。
规格如有更改，恕不另行通知。
