SENS4真空传感器、真空计和控制器|VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器、专为半导体负载锁定、精密压力控制和其他真空应用
真空测量产品
为您的应用找到理想的真空传感器
无论您是需要用于工业流程、研究实验室还是专业高科技应用的高精度真空传感器，我们的选择工具都可以帮助您通过真空传感器类型、压力范围和接口确定最佳解决方案。
从全系列的数字真空计、真空传感器和真空控制器中进行选择，根据您的确切规格（包括连接类型、输出信号和精度要求）进行定制。Sens4 提供可靠耐用的真空测量解决方案，专为在苛刻的环境中运行而设计
VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器
VPM-7 SmartPirani™ ATM 传感器专为半导体负载锁定、精密压力控制和其他真空应用而设计，在这些应用中，相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。
与传统的负载锁定传感器和其他负载锁定传感器解决方案相比，它提供一流的性能，具有更宽的测量范围、更高的精度、更快的测量周期。
SmartPirani™ ATM 通过将热导率皮拉尼热损失真空计的可用测量范围延长了 1-3 个数量级，确立了新标准。
多合一多传感器传感器解决方案
VPM-7 是一款真正的多传感器传感器，具有四个压力输出：一个气压环境传感器、一个宽范围热损失皮拉尼传感器、一个绝对式隔膜传感器和一个相对于大气压的信号，所有这些传感器共同作用，以优化现代负载锁定真空室中的精确压力控制。隔膜传感器提供 2 至 1333 mbar（1.5 至 1000 Torr）的精确气体独立绝对读数。
Load-lock 是一种真空室，用于将器件（如半导体晶片）从环境气压加载到真空加工室中。负载锁定通常在大气压和将晶圆转移到处理室所需的适当真空度之间循环。负载锁内的精确压力控制对于防止环境空气和颗粒物的污染、保护腔室和晶圆至关重要。
测量和控制负载锁定过程
VPM-7 SmartPirani™ ATM 专为一流的真空气体压力测量和控制而设计。多个输出选项提供的不仅仅是压力测量信号。
模拟输出
模拟输出电压为外部监控或控制提供信号。VPM-7 为 mbar、Torr 或 Pascal 提供每十倍频程 1 VDC 的标准电压输出。
此外，它可以由用户配置或预配置各种其他模拟输出选项，从而可以无缝替换其他制造商的仪表。
数字接口
RS-232 和 RS-485 串行接口有助于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
该数字接口支持诊断、预测性维护、维修、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及真空压力测量值的实时采集，以实现屏幕可视化。
其他供应商即用兼容性
VPM-7 SmartPirani™ ATM 传感器可作为传统负载锁定真空传感器的直接替代品。
引脚兼容性、模拟电压、压力信号仿真以及与其他供应商的真空传感器和变送器的数字协议仿真。
这些仿真功能支持对传统皮拉尼线传感器、对流计和传统微型皮拉尼传感器进行快速、无缝升级，无需更改布线和系统设备软件即可过渡到下一代真空传感器。
VPM-7 SmartPirani™ ATM 在取代传统的负载锁定真空计和传感器时，可在许多应用中降低成本并增强测量性能。
自定义设置
VPM-7 SmartPirani™ ATM 传感器可以定制以满足特定的应用要求，使其能够立即在特定的设备设置中使用。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号缩放。
定制单元被分配一个唯一的零件编号，以便将来轻松重新订购。
应用和市场
VPM-7 SmartPirani™ ATM 专为高级真空过程的可靠测量和控制而设计，适用于负载锁定系统的压力控制。VPM-7 配置有多种选择，可满足各种行业和应用的不同要求。
